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公开(公告)号：CN106369241A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610971593.5
申请日：2016-11-07
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: F16L53/00 , F16L9/18 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4412 , C23C16/45544 , F16L9/18 , F16L53/32
Abstract: 本发明公开了一种双层排气管，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。其内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接。其外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。其冷却水接头3，一端连通外层管2，与内外层管间中空结构形成通路，另一端用于连接冷却循环水。其粗管4内径与内层管外径相同，且上部与内层管连接，下部作为连接后端真空抽气管道的接口。该排气管一方面连接真空反应腔与真空抽气管道，确保真空的获得；同时通过双层结构设计，冷却水的使用，确保了设备适宜的工作环境。
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公开(公告)号：CN106198867A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610516641.1
申请日：2016-07-04
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种简单的制备ZnNb2O6气敏材料的方法，该方法利用水热法合成ZnNb2O6前驱体，然后高温煅烧得到ZnNb2O6纳米材料。金属氧化物较单纯ZnO材料气体选择性、灵敏度均有大幅提升，解决金属氧化物选择性差的难题。该方法的优点在于通过水热和高温煅烧结合制备高性能气敏材料，材料的性能稳定，气体选择性好，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN106041123A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610556225.4
申请日：2016-07-15
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
CPC classification number: B22F9/24 , B22F1/0051
Abstract: 本发明提供了一种太阳能电池正银用高活性空心银粉及其制备方法，配制一定浓度的硝酸银和抗坏血酸溶液，并向硝酸银溶液中添加一定质量的阿拉伯树胶粉，搅拌均匀后通入纳米气泡，以纳米气泡为载体，吸附硝酸银与阿拉伯树胶粉在其表面，将抗坏血酸溶液以一定速度滴加至硝酸银溶液中，与此同时，控制溶液的pH，待反应一定时间，倒出上清液，分别用去离子水、无水乙醇清洗若干遍，得到一种太阳能电池正银用高活性空心银粉。采用本发明方法制备的银粉表面粗糙，内部空心，烧结活性高，粒径范围为0.5～4.0 μm，粒径分布窄，大小可控，分散性好，振实密度高，可用于制备太阳能电池正面导电银浆。
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公开(公告)号：CN106011790A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610398058.5
申请日：2016-06-07
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45544
Abstract: 本发明公开一种ALD反应腔体门盖，包括盖板（1）以及与盖板相连的盖沿（2），盖板上的V型凹槽（3），盖沿的外表面的弧形凹槽（4）。本发明通过盖沿的引入以及V型凹槽和弧形凹槽的引入，大幅度增加了反应腔内反应气体扩散进入外腔的路径，增加了气体扩散的难度，提升了腔体气密性。同时盖沿还起到了承载与定位的作用，便于门盖的开启与关闭。
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公开(公告)号：CN106011785A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610398336.7
申请日：2016-06-07
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/405 , C23C16/45529
Abstract: 本发明涉及半导体光电材料技术领域的一种原子层沉积制备高均匀性Nb掺杂TiO2透明导电薄膜的方法，通过将超声清洗后氮气吹干的基片加热，采用四氯化钛、三（乙基甲基氨基）叔丁酰胺铌及高纯水作为前驱体源，将沉积组合进行多次循环后制备高均匀性Nb掺杂TiO2透明导电薄膜。该发明制备得到的透明导电薄膜性能优异，折射率在2.3以上，电阻率最低可达2.9×10‑4Ω·cm，此时透光率仍在85%以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105925959A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610314085.X
申请日：2016-05-13
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45544
Abstract: 本发明公开了一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；同时，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。
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公开(公告)号：CN103357886B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310267684.7
申请日：2013-06-28
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: B22F9/24
Abstract: 本发明涉及一种用于荧光传感器的贵金属纳米团簇制备方法，本发明先吸取新鲜鸡蛋中的鸡蛋清，用纯净水稀释，搅拌混匀。取稀释后的鸡蛋清，加入氯金酸（HAuCl4），充分混匀，再加入氢氧化钠，再次混匀，放置，就可制备成红色荧光的金纳米团簇。对于银和铂纳米团簇，同金纳米团簇的制备方法类似，只是在稀释后的蛋清中分别加入硝酸银和氯铂酸（H2PtCl6）。该工艺制备出的团簇大小相对均一，表面形貌一致，且具有非常强的荧光和超低检测灵敏度。本发明工艺简单新颖，材料简单，设备数量少，能耗低，便于推广，在疾病检测，气体吸附，化学催化，食品安全，光电子器件等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN105817352A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610259120.2
申请日：2016-04-25
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种ALD用结构化喷嘴，其包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着、其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的微孔（3）和微孔（4）。本发明使得喷嘴与反应腔体结构高度融合，有效提升腔体内部气流均匀性，同时也节省腔体空间，方便拆装，便于清洗。
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公开(公告)号：CN103364453B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310264387.7
申请日：2013-06-28
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器及其制备方法，氧化锡-氧化锌复合空心微球利用模板法制备，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极。在陶瓷管外部涂有氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于：利用比表面积大的金属氧化物微球做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明采的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高，在工作温度下对乙醇有很高的灵敏性，可用于乙醇的检测。
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公开(公告)号：CN103268825B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310167014.8
申请日：2013-05-08
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明涉及一种太阳能电池复合结构光阳极材料及制备方法，其结构包括玻璃基底、在玻璃基底上的Al掺杂ZnO透明导电薄层、在此导电薄膜基础上ZnO纳米线阵列，以及在ZnO纳米线阵列表面均匀沉积的TiO2纳米薄膜，上述结构可简化为AZO透明导电薄玻璃、以及在导电薄膜基础上形成的TiO2/ZnO核壳结构纳米线阵列。利用AZO代替ITO或者FTO，制备ZnO阵列的时候减少了制备ZnO种子层的过程，简化了制备流程；ALD技术的利用，一方面使得高性能的AZO透明导电薄膜可以很容易的获得，另一方面制备TiO2/ZnO核壳结构过程中，可以确保TiO2在全表面均匀覆盖。
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