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    曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法
    101.
    发明授权
    曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法 有权

    公开(公告)号：CN109791370B

    公开(公告)日：2021-05-18

    申请号：CN201780060676.1

    申请日：2017-09-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20 ,  G03F7/22 ,  H01L21/68

    Abstract: 一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的第2位置移动；第2驱动部于扫描曝光中，使保持非接触地支撑于非接触固定器(32)的基板(P)的吸附垫相对于投影光学系统而相对移动。

    曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法
    102.
    发明授权
    曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法 有权

    公开(公告)号：CN107533303B

    公开(公告)日：2021-04-30

    申请号：CN201680020549.4

    申请日：2016-03-31

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 内藤一夫 ,  青木保夫 ,  长岛雅幸

    IPC: G03F9/00 ,  G02F1/13 ,  G03F7/20

    Abstract: 透过投影光学系(30)对基板(P)照射照明光(IL)，并对基板(P)相对驱动投影光学系(PL)以进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备进行设于基板(P)的标记(Mk)的标记检测的对准显微镜(62、64)、驱动对准显微镜(62、64)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以在投影光学系(40)的驱动前先进行对准显微镜(62、64)的驱动的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，即能抑制曝光处理所需的生产时间。

    基板搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法
    103.
    发明公开
    基板搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法 有权

    公开(公告)号：CN111149060A

    公开(公告)日：2020-05-12

    申请号：CN201780095289.1

    申请日：2017-09-29

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

    Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置，其向保持装置的保持面搬运基板，且包括：第一保持部，设于所述保持面的上方，且保持所述基板的一部分与所述保持面的距离较所述基板的其他部分与所述保持面的距离更短的状态的所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的其他部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部向沿着所述保持面的方向相对移动。

    放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法
    105.
    发明公开
    放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法 有权

    公开(公告)号：CN110058493A

    公开(公告)日：2019-07-26

    申请号：CN201910052762.9

    申请日：2015-03-30

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫 ,  菊池孝幸 ,  白数广

    IPC: G03F7/20 ,  H01J5/50 ,  H01J61/52 ,  H01J61/86

    Abstract: 本发明提供一种放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法，放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于发光部而分别设在玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，在该放电灯中，第1灯座部件具有：被连结部，其供将来自曝光装置的电力向发光部传递的部件连结；和被保持部，其能够由搬送部保持。

    基板的更换装置
    106.
    发明公开
    基板的更换装置 有权

    公开(公告)号：CN108231642A

    公开(公告)日：2018-06-29

    申请号：CN201810026949.7

    申请日：2012-05-11

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫

    IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

    Abstract: 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。

    物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法
    108.
    发明公开
    物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法 有权

    公开(公告)号：CN107615169A

    公开(公告)日：2018-01-19

    申请号：CN201680030014.5

    申请日：2016-05-27

    Applicant: 株式会社尼康

    Inventor： 青木保夫 ,  吉田亮平

    IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

    Abstract: 本发明的物体保持装置具有：保持面部(60)，其具有保持基板的保持面；管路部(50)，其具有控制保持面与基板之间的气体的管路，且载置有保持面部(60)；以及基部(60)，其载置有管路部(50)。而且，在管路部(50)中，管路沿第一方向延伸，且沿与所述第一方向交叉的第二方向配置有多个。本发明的物体保持装置能够容易地进行气体管道路径的制作和基板载置面的平面度调整，具有基部(40)的结构简单，组装和维护容易的效果。

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