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公开(公告)号:CN112703172B
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN201980060611.6
申请日:2019-08-29
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03B18/14 , C03C3/091 , C03C17/32 , C03C19/00 , G02F1/1333
Abstract: 本发明涉及一种玻璃基板,其具有一对主表面和端面,其中,将从主表面起算的深度0.1μm~深度0.3μm的区域内的Sn原子浓度设为玻璃基板表层部的Sn原子浓度、并将从主表面起算的深度9.0μm~深度9.2μm的区域内的Sn原子浓度设为玻璃基板内部的Sn原子浓度时,在至少一个主表面中,通过从玻璃基板表层部的Sn原子浓度中减去玻璃基板内部的Sn原子浓度而求出的表层扩散Sn原子浓度为2.0×1018原子/cm3以上且1.4×1019原子/cm3以下。
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公开(公告)号:CN112020484B
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN201980027779.7
申请日:2019-04-23
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C3/091 , C03C3/087 , G11B5/73 , G02F1/1333
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃,所述无碱玻璃的应变点为650℃以上,50℃~350℃范围内的平均热膨胀系数为30×10‑7/℃~45×10‑7/℃,玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1500℃~1800℃,以氧化物基准的摩尔%表示,所述无碱玻璃包含:SiO2:62%~70%、Al2O3:9%~16%、B2O3:0~12%、MgO:3%~10%、CaO:4%~12%、SrO:0~6%、Fe2O3:0.001%~0.04%,并且MgO+CaO+SrO+BaO为12%~25%,且所述无碱玻璃的β‑OH值为0.35/mm~0.85/mm。
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公开(公告)号:CN115636584A
公开(公告)日:2023-01-24
申请号:CN202211426784.5
申请日:2019-03-08
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃基板,其应变点为650℃以上,50~350℃的平均热膨胀系数为30×10-7~45×10-7/℃,以氧化物基准的质量%表示,含有54~66%的SiO2、10~25%的Al2O3、0.1~12%的B2O3、合计7~25%的选自MgO、CaO、SrO和BaO中的1种以上的成分,含有150~2000质量ppm的Na2O,至少一个主面的玻璃基板表面的Na2O量比玻璃基板内部的Na2O量少20质量ppm以上。
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公开(公告)号:CN111836791B
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN201980018232.0
申请日:2019-03-13
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C3/091 , C03C3/087 , G02F1/1333 , G11B5/73 , G11B7/2531
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制玻璃基板的变形且成型性优异、对制造设备的负担低的玻璃。本发明的无碱玻璃的热膨胀系数、杨氏模量、应变点、粘度成为104dPa·s的温度T4、玻璃表面失透温度和粘度成为102dPa·s的温度T2在规定的范围内,且SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO和BaO的含量、MgO+CaO+SrO+BaO以及MgO/CaO在规定的范围内。
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公开(公告)号:CN109641782B
公开(公告)日:2022-10-28
申请号:CN201780051226.6
申请日:2017-08-21
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明提供一种无碱玻璃,其收缩率低、应变点高、紫外线透射率高、并且容易熔融。一种无碱玻璃,其特征在于,以氧化物基准的摩尔%表示,SiO2为65~75、Al2O3为9~15、B2O3为0~3、MgO为0~12、CaO为0~8、SrO为0~6、BaO为0~5、MgO+CaO+SrO+BaO为12~22,4.84[Fe2O3]+5.65[Na2O]+4.03[K2O]+4.55[SnO2]为0.55以下,以下测定的收缩率为80ppm以下。
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公开(公告)号:CN114988704A
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210457998.2
申请日:2019-08-27
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明涉及微晶玻璃、化学强化玻璃和半导体支撑基板。本发明的目的在于提供透明性和化学强化特性优异的微晶玻璃以及热膨胀系数大、透明性和强度优异并且在破损时碎片不易飞散的化学强化玻璃。本发明涉及一种微晶玻璃,所述微晶玻璃的换算成厚度0.7mm时的可见光透射率和换算成厚度0.7mm时的雾度值在特定范围内,并且具有特定的组成;并且本发明涉及一种化学强化玻璃,所述化学强化玻璃在表面具有压应力层,并且换算成厚度0.7mm时的可见光透射率、换算成厚度0.7mm时的雾度值、表面压应力和压应力层深度在特定范围内,并且所述化学强化玻璃为具有特定的组成的微晶玻璃。
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公开(公告)号:CN114751643A
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202210466606.9
申请日:2017-04-20
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C3/091
Abstract: 本发明提供一种无碱玻璃,其具有高的比弹性模量,并且具有适度的应变点、低的密度、不过低的热膨胀系数以及良好的澄清性和熔解性。所述无碱玻璃以氧化物基准的摩尔%表示计含有SiO2:62~70%、Al2O3:11~14%、B2O3:3~6%、MgO:7~10%、CaO:3~9%、SrO:1~5%、BaO:0~1%;[SiO2]+0.7[Al2O3]+1.2[B2O3]+0.5[MgO]+0.4[CaO]-0.25[SrO]-0.88[BaO]为85以上,[SiO2]+0.45[Al2O3]+0.21[B2O3]-0.042[MgO]+0.042[CaO]+0.15[SrO]+0.38[BaO]为72~75,0.4[SiO2]+0.4[Al2O3]+0.25[B2O3]-0.7[MgO]-0.88[CaO]-1.4[SrO]-1.7[BaO]为19以下,比弹性模量为32MN·m/kg以上,应变点为690~710℃,密度为2.54g/cm3以下,在50~350℃的平均热膨胀系数为35×10‑7/℃以上,玻璃粘度成为102dPa·s的温度T2为1610~1680℃。
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公开(公告)号:CN109715572B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN201780056935.3
申请日:2017-09-12
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明的第一发明涉及一种玻璃基板,碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0~0.1%,失透温度粘性为103.2dPa·s以上,30℃~220℃下的平均热膨胀系数α为7.80~9.00(ppm/℃)。本发明的第二发明涉及一种玻璃基板,碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0~0.1%,光弹性常数C为10~26nm/cm/Mpa,并且该玻璃基板用于半导体封装用的支撑基板。
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公开(公告)号:CN109562979B
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN201780047860.2
申请日:2017-08-01
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C3/083 , C03C3/085 , C03C3/087 , C03C3/091 , G02F1/1333 , H01L21/02 , H01L21/336 , H01L27/12 , H01L29/786
Abstract: 本发明提供一种玻璃基板,是收紧率为0.1~100ppm的玻璃基板,在50~100℃下的玻璃基板的平均热膨胀系数α50/100与单晶硅的平均热膨胀系数之差的绝对值|Δα50/100|、在100~200℃下的玻璃基板的平均热膨胀系数α100/200与单晶硅的平均热膨胀系数之差的绝对值|Δα100/200|以及在200~300℃下的玻璃基板的平均热膨胀系数α200/300与单晶硅的平均热膨胀系数之差的绝对值|Δα200/300|为0.16ppm/℃以下。
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公开(公告)号:CN113396132A
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN201980091249.9
申请日:2019-08-27
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供透明性和化学强化特性优异的微晶玻璃以及热膨胀系数大、透明性和强度优异并且在破损时碎片不易飞散的化学强化玻璃。本发明涉及一种微晶玻璃,所述微晶玻璃的换算成厚度0.7mm时的可见光透射率和换算成厚度0.7mm时的雾度值在特定范围内,并且具有特定的组成;并且本发明涉及一种化学强化玻璃,所述化学强化玻璃在表面具有压应力层,并且换算成厚度0.7mm时的可见光透射率、换算成厚度0.7mm时的雾度值、表面压应力和压应力层深度在特定范围内,并且所述化学强化玻璃为具有特定的组成的微晶玻璃。
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