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公开(公告)号：CN117724293A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311785408.X
申请日：2023-12-22
Applicant: 北京科华微电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司
Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域，尤其是涉及一种KrF负性光刻胶及其制备方法和图案化方法。KrF负性光刻胶，包括按质量百分数计的如下组分：对羟基苯乙烯‑苯乙烯共聚物树脂10％～30％、产酸剂0.1％～5％、交联剂0.8％～5％和溶剂70％～90％；所述交联剂包括醚化的多苯基交联剂和/或醚化的三聚氰胺类交联剂；所述产酸剂包括二芳基碘鎓盐和/或三芳基硫鎓盐。本发明通过使用对羟基苯乙烯‑苯乙烯共聚物树脂、产酸剂、交联剂和溶剂组分的组合，并采用合适的比例，能够得到具有超高分辨率、倒梯形形貌的KrF负性光刻胶，可将应用于Lift Off工艺制程的KrF负性光刻胶的分辨率提高至140nm。
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公开(公告)号：CN117214118A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311169885.3
申请日：2023-09-11
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司
Abstract: 本发明涉及光刻胶树脂技术领域，具体涉及一种测定248nm光刻胶树脂中对羟基苯乙烯含量的方法。该方法包括：(a)取不同已知对羟基苯乙烯摩尔含量的同类型保护基团的树脂溶液标准品，旋涂烘干制备膜层，测定膜层厚度；(b)测定各膜层在不同波长下的吸光度A；(c)获取各个膜层在278nm处的光密度值，以光密度为横坐标，以对羟基苯乙烯基团在树脂中的摩尔含量为纵坐标，构建标准曲线Y＝aX+b，X为光密度，Y为对羟基苯乙烯的摩尔含量；(d)取待测样品，按照标准品同样的测试方法，测定膜层厚度及278nm的吸光度，获取光密度，根据标准曲线，计算待测样品中的对羟基苯乙烯的摩尔含量。测定结果稳定，准确性高，重复性好。
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公开(公告)号：CN117191731A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311171417.X
申请日：2023-09-11
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司
Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种测定光刻胶光密度的方法，包括以下步骤：以紫外石英片一侧表面的Q点为旋涂中心点，将光刻胶旋涂在紫外石英片的表面上，经干燥形成膜层区域，选取所述膜层区域的第一区域，第一区域以旋涂中心点为中心点，第一区域与所述紫外石英片的长度比为15:45；将紫外石英片置于石英片卡板的卡槽中，石英片卡板上的等分刻线将第一区域等分为多个区域，测试多个区域的膜层厚度并获取平均值，即为第一区域的膜层厚度；再将紫外石英片固定于紫外分光光度计样品池中的支架中，用紫外分光光度计进行光谱测定，获取测定的各波长处的吸光度，根据公式计算光密度。该方法操作简单，结果准确，实验重复性好。
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公开(公告)号：CN117092886A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311052314.1
申请日：2023-08-21
Applicant: 北京科华微电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司
Abstract: 深紫外化学放大型负胶的顶部涂层组合物及其制备方法，属于半导体技术领域；顶部涂层组合物包括含有碱性基团的聚合物；该顶部涂层组合物通过采用含有碱性基团的聚合物作为顶部涂层组合物的有效成分，其能够有效的中和光刻胶在曝光区顶部邻近区域所产生的过量光酸，降低曝光区顶部邻近区域过度交联的发生，进而能够降低微桥结构的发生概率，同时还能提高光刻胶曝光能量窗口。
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公开(公告)号：CN118894880A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202410933283.9
申请日：2024-07-11
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 上海清华国际创新中心 , 北京科华微电子材料有限公司
IPC: C07F7/18
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种含有发色团的硅氧烷的制备方法。本发明提供的一种含有发色团的硅氧烷的制备方法，包括如下步骤：含有异氰酸根的硅氧烷与含有活泼氢和发色团的化合物反应得到所述含有发色团的硅氧烷。本发明提供的含有发色团的硅氧烷的制备方法，通过利用异氰酸根和活泼氢之间的高反应活性，合成了含有发色团的硅氧烷；通过该制备方法合成的含有发色团的硅氧烷纯度高，后处理步骤更加简单，且不存在合成的含有发色团的硅氧烷单体聚合的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117723496A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202410138592.7
申请日：2024-01-31
Applicant: 北京科华微电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司
Abstract: 本发明涉及定性检测技术领域，具体而言，涉及一种光致产酸剂中残留酸的检测方法。本发明的光致产酸剂中残留酸的检测方法，包括以下步骤：将芳香内酯类的化合物和溶剂混合，得到标准溶液；采用紫外可见分光光度计测量所述标准溶液以获取标准紫外吸收曲线；再将待检测的光致产酸剂与所述标准溶液混合，得到第一混合体系；采用紫外可见分光光度计测量所述第一混合体系以获得第一紫外吸收曲线；将所述标准紫外吸收曲线和所述第一紫外吸收曲线进行比对，以判断所述光致产酸剂中是否含有残留酸。该方法可以快速、准确地检测出光致产酸剂中是否有残留酸，以及不同批次光致产酸剂中残留酸含量是否相同。
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公开(公告)号：CN215642353U
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202121506015.7
申请日：2021-07-02
Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: G05B19/05
Abstract: 本申请提供一种球磨机装置及球磨机设备，包括PLC控制模组、第一继电器、第一接触器、第二继电器、第二接触器、至少一个球磨机电机、至少一个气锤和球磨机排粉口；PLC控制模组分别与第一继电器和第二继电器连接；第一继电器与第一接触器连接；第二继电器与第二接触器连接；第一接触器连接球磨机电机，第二接触器连接气锤；气锤设置于球磨机排粉口。PLC控制模组控制第一继电器和第二继电器的通断，从而改变第一接触器和第二接触器的通断，实现了球磨机电机和气锤的启停控制，粉碎过程与排粉过程可实现无缝衔接，气锤在排粉过程状态可自由切换是否投入使用，减轻了操作人员的工作量。
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公开(公告)号：CN214096853U
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202023026826.5
申请日：2020-12-15
Applicant: 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及化工设备技术领域，尤其是涉及一种除溶剂设备。除溶剂设备包括密封装置、承载件、温控装置和抽真空装置，密封装置内可形成密封腔体；承载件上形成有水平设置的承载面；温控装置用于加热承载件并使得承载件处于预设温度下；抽真空装置用于将密封腔体抽真空并使得密封腔体处于预设压强下。将树脂溶液添加至承载面上并在承载面上形成膜层；通过温控装置和抽真空装置控制膜层处于预设压强和预设温度下，能够实现树脂溶液中溶剂的去除，具有操作简单，去除方便的有益效果，在研发人员剖析树脂的结构和组成时，省时省力，大大提高作效率，具有较大的优势。
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公开(公告)号：CN116003716B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202211724600.3
申请日：2022-12-30
Applicant: 彤程化学(中国)有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
Abstract: 本申请实施例提供一种羟甲基化烷基苯酚甲醛树脂加成沥青及其制备方法、以及橡胶组合物，属于橡胶材料技术领域。制备方法包括：在碱催化剂存在下，将烷基苯酚与甲醛进行一次羟甲基化反应，生成羟甲基烷基苯酚；加热处理，使得羟甲基烷基苯酚脱水后与沥青进行加成反应，得到烷基苯酚加成沥青；在碱催化剂存在下，将烷基苯酚加成沥青与甲醛进行二次羟甲基化反应，得到羟甲基化烷基苯酚甲醛树脂加成沥青。制备得到的羟甲基化烷基苯酚甲醛树脂加成沥青中，羟甲基化烷基苯酚甲醛树脂基体可以起到交联的作用，通过加成引入的沥青端能改善胶料的加工性能、力学性能和气密性能。
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公开(公告)号：CN113927987B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111160668.9
申请日：2021-09-30
Applicant: 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
IPC: B32B27/36 , B32B27/18 , B32B27/06 , B32B33/00 , C08L67/02 , C08K7/18 , C08K5/20 , C08K5/3462 , C08J5/18 , B65D65/46
Abstract: 本发明公开了一种全生物降解自粘保鲜膜，所述全生物降解自粘保鲜膜采用外层、中层、内层的三层共挤结构，各层所用材料均为全生物降解材料，整体具有良好的生物降解性能。本发明所述的全生物降解自粘保鲜膜相比一般可降解保鲜膜具有更好的自粘性(剪切剥离强度)、更高的透明度，不易粘辊可高效连续生产。本发明所述的全生物降解自粘保鲜膜具有加工温度低，气体阻隔性能好，可微波加热，生产周期短，无溶剂残留，可食品接触等优点，在适合的条件下与剩菜剩饭等有机垃圾一起进行堆肥处理，在自然环境中可实现全生物降解，不污染环境。且不含VOCs、重金属及致癌物质，无腐蚀性，无公害，绿色友好。相对生物分解率≥90％。本发明还公开了上述全生物简介自粘保鲜膜的制备方法。
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