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公开(公告)号：CN222318253U
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202421780411.2
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种五边辐式柔性温压双模态传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性衬底层和柔性封装层，衬底层的上表面设置有五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元；一个纵向分布的金属温敏薄膜作为压力检测单元；柔性衬底层设有空腔，且与封装层的密闭连接。五边辐式温敏薄膜的均匀分布可以有效地分散压力，减小局部应力集中所造成的测量误差，结构稳定性强。温敏薄膜采用MEMS技术进行加工制作，具有轻量化、造价低、制作工艺简单等优点，可广泛应用于可穿戴电子设备等领域。
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公开(公告)号：CN216248024U
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202122871093.3
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
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公开(公告)号：CN216209244U
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202122867754.5
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
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公开(公告)号：CN212082390U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188961.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“T”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082389U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188943.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN212082384U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188138.6
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四根加热器和六对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器、一对Z轴热敏电阻和一根X/Y轴热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的热流，这种对流式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216595183U
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202122910542.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
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公开(公告)号：CN216485109U
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202122910667.3
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
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公开(公告)号：CN216449608U
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202122910171.6
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
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公开(公告)号：CN212082391U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021189037.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的震荡热流，热流末端为矩形的隔离电阻。这种十字流式的热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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