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公开(公告)号：CN101654771B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200910195127.2
申请日：2009-09-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 一种固体润滑技术领域的磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法，包括：第一步、将基片抛光后超声清洗并烘干，装入溅射室内；第二步、在溅射室中进行纯钛溅射和复合层溅射，然后待溅射室自然冷却至室温，制备得到磁控溅射制备减磨复合薄膜。本发明制备工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用，制备所得的复合薄膜纳米硬度达到5.9GPa，摩擦系数可达到0.03。
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公开(公告)号：CN101550535B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200910050734.X
申请日：2009-05-07
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 一种纳米复合薄膜技术领域的复合金属硫化物类金刚石复合薄膜的制备方法，包括：基片抛光洗净烘干；中间层溅射处理；通入乙炔气体；金属硫化物复合靶溅射处理；本发明方法制备获得的复合薄膜具有优异减摩性能以及良好耐磨性能的复合薄膜，制备工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。
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公开(公告)号：CN109576680B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201811398391.1
申请日：2018-11-22
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种复合材料的制备方法及其产品和应用，在SnO2纳米材料表面生长一层SnS2层构建异质结，可提升材料的气敏性能；采用冷冻干燥技术处理样品，可防止SnS2干燥过程中被氧化并可保持较高的比表面积，用ALD在样品表面生长SnO2层可以防止使用过程中SnS2的氧化，并且形成多层异质结结构，有助于进一步提升材料的长期稳定性及灵敏度。该方法制备的复合结构可有效改善单一材料灵敏度和稳定性不足的缺点，并可降低材料的工作温度。本发明制备的SnO2/SnS2/SnO2纳米材料可用于有毒气体检测、光催化降解污染物等领域。
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公开(公告)号：CN107607588B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201710611962.4
申请日：2017-07-25
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于气敏传感器的被修饰SnO2纳米材料，制备方法是：以无水四氯化锡为原料，去离子水和N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂，与辅助剂预混后将溶液升温，反应得到SnO2纳米材料，将SnO2纳米材料与尿素混合均匀后热处理，制得g‑C3N4修饰的SnO2纳米材料。该方法的特点在于实现了g‑C3N4与SnO2纳米材料的原位复合，在保持SnO2结构完整性的同时实现g‑C3N4的表面修饰，利用纳米材料比表面积大和复合材料电子传输快的诸多优点，实现了高灵敏度气敏材料的构建。本发明制备的纳米材料可极大提升SnO2气敏材料的灵敏度。具有制备工艺简单、成本低的特点，其产品性能稳定，气体灵敏度高。
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公开(公告)号：CN107761053B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201711014808.5
申请日：2017-10-26
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种大面积拉曼增强基底的制备方法及其产品和应用，所述方法包括：在光滑玻璃或者单晶硅片基底利用磁控溅射共溅射制备一层Ag纳米薄膜，以及在此基础上利用原子层沉积制备一层Al2O3纳米薄膜，在此技术之上再利用磁控溅射制备一层Ag纳米薄膜，然后在氮气保护下进行快速退火处理，最后再在此基础上利用原子层沉积制备一层Al2O3纳米薄膜。本发明制备工艺简单，其产品的拉曼增强效果优良，且适合于大面积制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109507242A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811258287.2
申请日：2018-10-26
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种C@三氧化二铁复合纳米材料的制备方法及其产品和应用，该方法利用蛋清作为生物模板，在生物模板表面生长α-FeOOH，利用冷冻干燥技术干燥，可确保蛋清保持其生物结构，然后在惰性气体氛围中高温处理，使蛋清碳化并且α-FeOOH热分解得到C@α-Fe2O3复合纳米结构。以C@α-Fe2O3复合纳米结构制备的元件，可利用C材料优异的导电性，从而提升其电学性能，该复合材料可用于有毒气体的检测、超级电容器等领域。
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公开(公告)号：CN109434128A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811252699.5
申请日：2018-10-25
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种Au负载二氧化锡纳米材料的制备方法及在气体检测中的应用，该方法利用无水四氯化锡为原料，加入微量硝酸防止无水四氯化锡水解，加入PVP和PAN作为表面修饰剂，可以保证材料的分散性并调控材料的结构和形貌，将金前驱体与锡前驱体预混，然后水热反应，可以保证产物中Au在SnO2中均匀分散；采用冷冻干燥技术处理样品，可防止样品干燥过程中被氧化并可保持较高的比表面积，用ALD在样品表面生长氧化锌层可以防止使用过程中催化剂中毒，有助于提升材料的长期稳定性。本发明制备的Au修饰SnO2纳米材料可用于有毒气体检测、气体催化治理等领域。
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公开(公告)号：CN105817352B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610259120.2
申请日：2016-04-25
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种ALD用结构化喷嘴，其包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着、其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的微孔（3）和微孔（4）。本发明使得喷嘴与反应腔体结构高度融合，有效提升腔体内部气流均匀性，同时也节省腔体空间，方便拆装，便于清洗。
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公开(公告)号：CN106011785B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610398336.7
申请日：2016-06-07
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及半导体光电材料技术领域的一种原子层沉积制备高均匀性Nb掺杂TiO2透明导电薄膜的方法，通过将超声清洗后氮气吹干的基片加热，采用四氯化钛、三（乙基甲基氨基）叔丁酰胺铌及高纯水作为前驱体源，将沉积组合进行多次循环后制备高均匀性Nb掺杂TiO2透明导电薄膜。该发明制备得到的透明导电薄膜性能优异，折射率在2.3以上，电阻率最低可达2.9×10‑4Ω·cm，此时透光率仍在85%以上。
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公开(公告)号：CN105925959B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610314085.X
申请日：2016-05-13
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；同时，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。
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