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公开(公告)号：CN103890927A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280046775.1
申请日：2012-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/6875 , H02N13/00
Abstract: 本发明公开了一种交流驱动静电吸盘，具备：电介体基板，具有形成于载置被吸附物侧的主面的突起部与形成于所述突起部周围的底面部；以及电极，设置在所述电介体基板；其中，所述电极包括多个相互分离配设的电极元件，所述多个电极元件能够分别被施加相位各不相同的交流电压，所述突起部根据所述多个电极元件的形状，按规定的间隔配置于所述主面上。本发明能够抑制对设置在载置面侧的突起部的一部分造成局部损伤。
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