公开(公告)号：CN111244263B

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN201911173017.6

申请日：2019-11-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H10N30/85 ,  H10N30/093 ,  H10N30/092

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，该压电薄膜元件(10)具备导电层(4)、和直接层叠于导电层(4)表面的压电薄膜(2)，压电薄膜(2)包含具有纤锌矿型结构的多个晶粒，至少一部分晶粒的(001)面在导电层(4)的表面的法线方向DN上取向，与导电层(4)的表面平行的方向上的多个晶粒的中值粒径为30nm以上且80nm以下。

公开(公告)号：CN112750941A

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN202011162665.4

申请日：2020-10-27

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜，第一电极层包含具有晶体结构的金属Me，压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝，氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt，[Al]是氮化铝中的Al的含量，[Md]是氮化铝中的Md的含量，[Mt]是氮化铝中的Mt的含量，([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子％以上且70原子％以下，LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度，LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度，LALN比LMETAL长。

公开(公告)号：CN111244263A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201911173017.6

申请日：2019-11-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/39 ,  H01L41/37

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，该压电薄膜元件(10)具备导电层(4)、和直接层叠于导电层(4)表面的压电薄膜(2)，压电薄膜(2)包含具有纤锌矿型结构的多个晶粒，至少一部分晶粒的(001)面在导电层(4)的表面的法线方向DN上取向，与导电层(4)的表面平行的方向上的多个晶粒的中值粒径为30nm以上且80nm以下。

公开(公告)号：CN112750941B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202011162665.4

申请日：2020-10-27

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜，第一电极层包含具有晶体结构的金属Me，压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝，氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt，[Al]是氮化铝中的Al的含量，[Md]是氮化铝中的Md的含量，[Mt]是氮化铝中的Mt的含量，([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子％以上且70原子％以下，LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度，LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度，LALN比LMETAL长。

公开(公告)号：CN102394174B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201110197907.8

申请日：2011-07-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 谷口晋 ,  柳田美幸 ,  阿部寿之 ,  井上柚华梨 ,  北上雅敬

IPC: H01G4/232 ,  H01G4/30

CPC classification number: H01G4/12 ,  H01F17/0013 ,  H01F27/292 ,  H01G4/005 ,  H01G4/232

Abstract: 本发明涉及一种陶瓷电子部件(100)，该陶瓷电子部件(100)具备埋设有含有金属成分的内部电极的陶瓷素体(1)、以分别覆盖内部电极露出的陶瓷素体的两端面(11)的方式设置的一对端子电极(3)；端子电极(3)从陶瓷素体(1)侧开始具有第1电极层和将导体生片烧成而形成的第2电极层，第2电极层含有从内部电极扩散的金属成分。

公开(公告)号：CN118678867A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410286628.6

申请日：2024-03-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 功刀千香 ,  井上柚华梨 ,  石井健太 ,  日色和成

IPC: H10N30/85

Abstract: 压电薄膜具有第一主面和位于第一主面的背侧的第二主面。压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的结晶质的氮化铝。氮化铝包含二价元素及四价元素。或者，氮化铝包含三价元素。第二主面的展开界面面积比Sdr为0.001以上且0.100以下。

公开(公告)号：CN102394174A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110197907.8

申请日：2011-07-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 谷口晋 ,  柳田美幸 ,  阿部寿之 ,  井上柚华梨 ,  北上雅敬

IPC: H01G4/232 ,  H01G4/30

CPC classification number: H01G4/12 ,  H01F17/0013 ,  H01F27/292 ,  H01G4/005 ,  H01G4/232

Abstract: 本发明涉及一种陶瓷电子部件(100)，该陶瓷电子部件(100)具备埋设有含有金属成分的内部电极的陶瓷素体(1)、以分别覆盖内部电极露出的陶瓷素体的两端面(11)的方式设置的一对端子电极(3)；端子电极(3)从陶瓷素体(1)侧开始具有第1电极层和将导体生片烧成而形成的第2电极层，第2电极层含有从内部电极扩散的金属成分。