公开(公告)号：CN101533224A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200910126173.7

申请日：2003-10-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 西村幸生 ,  石井宽之 ,  西村功 ,  小林英一

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由通式(I－1)表示的重复单元(1－1)、以及、由通式(I－2)表示的重复单元(1－2)或由通式(I－5)表示的重复单元(1－5)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂；其中，上述树脂中没有内酯环，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1－1)的含有比例为40～90摩尔％。

公开(公告)号：CN1708728A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200380102382.9

申请日：2003-10-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 西村幸生 ,  石井宽之 ,  西村功 ,  小林英一

IPC: G03F7/039

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I－1)表示的重复单元(1－1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1－(4－正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟－正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。

公开(公告)号：CN1288499C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN03125520.5

申请日：2003-08-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 岛基之 ,  石井宽之 ,  山本将史 ,  松田大一 ,  中村敦

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 一种辐射线敏感树脂组合物，包含：(A)含有至少两种式(1)-(6)的重复单元的树脂，总量5-70mol%，但每一种的量为1-49mol%，该树脂不溶于或几乎不溶于碱，但在酸的作用下易溶于碱，和(B)光酸发生剂。其中，R1表示氢原子或甲基R2表示具有1-4个碳原子的取代或未取代烷基。该树脂组合物用作化学放大保护层，该保护层对辐射线具有高透射率，感光度，分辨率，抗干蚀刻性以及保护层图案。

公开(公告)号：CN101883741A

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200880118617.6

申请日：2008-11-28

Applicant: 帝斯曼知识产权资产管理有限公司 ,  JSR株式会社

Inventor： 石井宽之 ,  黑泽孝彦 ,  加茂理

IPC: C03C17/00 ,  C08F220/00 ,  C09J4/00

CPC classification number: C09D4/00 ,  C03C25/105 ,  C08F220/00 ,  C09J4/00

Abstract: 本发明描述并且要求保护一种适于用在光纤上作为包覆层的液态可辐射固化涂料组合物。所述组合物如下：(A)含氟氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯；(B)下式(1)所表示的化合物，CH2＝CR1COO(CH2)x(CF2)yX(1)，其中，R1表示氢原子或甲基，X表示氢原子或氟原子，x表示1或2，y表示2至8的整数；(C)(甲基)丙烯酸；和(D)硅烷偶联剂。

公开(公告)号：CN100336836C

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200380103947.5

申请日：2003-11-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 石井宽之 ,  藤原考一 ,  山口宙志 ,  西村幸生

IPC: C08F220/10 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明公开了有特定结构的丙烯酸系共聚物，通过使用这种共聚物，作为对放射线的透明性高且感度、分辨率、耐干蚀刻性、图形形状等作为抗蚀剂的基本物性好、尤其是形成接触孔与线-间隔时的抗蚀剂是非常优异的。

公开(公告)号：CN1714110A

公开(公告)日：2005-12-28

申请号：CN200380103947.5

申请日：2003-11-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 石井宽之 ,  藤原考一 ,  山口宙志 ,  西村幸生

IPC: C08F220/10 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明公开了有特定结构的丙烯酸系共聚物，通过使用这种共聚物，作为对放射线的透明性高且感度、分辨率、耐干蚀刻性、图形形状等作为抗蚀剂的基本物性好、尤其是形成接触孔与线－间隔时的抗蚀剂是非常优异的。

公开(公告)号：CN1708728B

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：CN200380102382.9

申请日：2003-10-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 西村幸生 ,  石井宽之 ,  西村功 ,  小林英一

IPC: G03F7/039

Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。

公开(公告)号：CN1501166A

公开(公告)日：2004-06-02

申请号：CN03125520.5

申请日：2003-08-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 岛基之 ,  石井宽之 ,  山本将史 ,  松田大一 ,  中村敦

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 一种辐射线敏感树脂组合物，包含：(A)含有至少两种式(1)－(6)的重复单元的树脂，总量5－70mol％，但每一种的量为1－49mol％，该树脂不溶于或几乎不溶于碱。但在酸的作用下易溶于碱。和(B)光酸发生剂。其中，R1表示氢原子或甲基，R2表示具有1－4个碳原子的取代或未取代烷基。该树脂组合物用作化学放大保护层，该保护层对辐射线具有高透射率，感光度，分辨率，抗干蚀刻性以及保护层图案。