公开(公告)号：CN103019030B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201210352806.8

申请日：2012-09-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 秋丸尚徳 ,  松木智裕 ,  杉浦诚

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  G02B3/00 ,  G02B1/04

Abstract: 本发明提供一种微透镜的形成方法、微透镜及负型感光性组成物，所述微透镜的形成方法的特征在于包含：步骤1：于基板上形成负型感光性组成物的覆膜的步骤，所述负型感光性组成物含有聚硅氧烷（A）、光产酸剂（B）及具有保护基的胺（C）；步骤2：对所述覆膜进行选择性曝光，对所曝光的覆膜进行显影的步骤；及步骤3：对显影后的覆膜进行加热的步骤。利用本发明的微透镜的形成方法，可形成耐热性优异的微透镜。本发明的负型感光性组成物可使用所述微透镜的形成方法，从而形成耐热性优异的微透镜。

公开(公告)号：CN103019030A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210352806.8

申请日：2012-09-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 秋丸尚徳 ,  松木智裕 ,  杉浦诚

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  G02B3/00 ,  G02B1/04

Abstract: 本发明提供一种微透镜的形成方法、微透镜及负型感光性组成物，所述微透镜的形成方法的特征在于包含：步骤1：于基板上形成负型感光性组成物的覆膜的步骤，所述负型感光性组成物含有聚硅氧烷（A）、光产酸剂（B）及具有保护基的胺（C）；步骤2：对所述覆膜进行选择性曝光，对所曝光的覆膜进行显影的步骤；及步骤3：对显影后的覆膜进行加热的步骤。利用本发明的微透镜的形成方法，可形成耐热性优异的微透镜。本发明的负型感光性组成物可使用所述微透镜的形成方法，从而形成耐热性优异的微透镜。