公开(公告)号：CN102394209A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110252293.9

申请日：2009-11-02

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  B.彼得森 ,  M.莫里亚蒂 ,  R.J.P.G.尚珀斯

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/304 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及样本厚度的测量和端点确定。一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确端点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动端点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使端点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。

公开(公告)号：CN102272878B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN200980153190.8

申请日：2009-11-02

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  B.彼得森 ,  M.莫里亚蒂 ,  R.J.P.G.尚珀斯

IPC: H01J37/00 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确终点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动终点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使终点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。

公开(公告)号：CN102272878A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980153190.8

申请日：2009-11-02

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  B.彼得森 ,  M.莫里亚蒂 ,  R.J.P.G.尚珀斯

IPC: H01J37/00 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确端点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动端点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使端点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。

公开(公告)号：CN102394209B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201110252293.9

申请日：2009-11-02

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  B.彼得森 ,  M.莫里亚蒂 ,  R.J.P.G.尚珀斯

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/304 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及样本厚度的测量和终点确定。一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确终点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动终点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使终点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。