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公开(公告)号：CN108807120A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810393514.6
申请日：2018-04-27
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/12 , H01J37/143
Abstract: 公开了带电粒子显微镜中的枪透镜设计。一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其中，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。
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公开(公告)号：CN102737933B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN102468104A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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公开(公告)号：CN109904053B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201811488218.0
申请日：2018-12-06
Applicant: FEI 公司
Abstract: 涉及具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜。使用透射带电粒子显微镜的方法包括：试样固定器；源；照明器；成像系统；控制器，在方法中传感装置被选为EELS/EFTEM模块，其包括：入口平面；图像平面；狭缝平面；分散装置；分散装置与狭缝平面间的第一四极系列；狭缝平面与图像平面间的第二四极系列，分散装置和四极沿光轴设置，由此在光轴沿Z布置的笛卡尔坐标系中分散方向被定义成与X平行，其包括以下步骤：在第一四极系列中激发一个或多个四极，以将离开分散装置的离轴非分散YZ射线偏转到从狭缝平面到图像平面的光轴的旁轴路径上；在第二四极系列中激发单个四极或者一对相邻四极，以将能量分散束聚焦到图像平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107026065A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610705341.8
申请日：2016-08-23
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/09
Abstract: 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：– 提供带电粒子的非单能输入射束；– 将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：·像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；·射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。
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公开(公告)号：CN102468104B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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公开(公告)号：CN104377104A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410392945.2
申请日：2014-08-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/006 , H01J2237/2605 , H01J2237/262
Abstract: 本发明公开了使用环境透射电子显微镜的方法以及环境透射电子显微镜。环境透射电子显微镜遭受气体诱发的分辨率劣化。已发现该劣化并不是样品上的电流密度的函数，而是电子束的总电流的函数。发明人得出结论，劣化是由于ETEM的样品室中的气体的电离而引起的，并且提出使用样品室中的电场来移除电离气体，从而减小气体诱发的分辨率劣化。电场不需要是强场，并且能通过例如使样品114相对于样品室138偏置而引起。经由电压源144施加的100V的偏置电压足以实现气体诱发的分辨率劣化的显著改善。极化并不是重要的。备选地，能通过例如将电偏置导线或纱网154离轴地放置在样品室中来使用垂直于光轴104的电场。
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公开(公告)号：CN106653537A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610729771.3
申请日：2016-08-26
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/05 , H01J37/14 , H01J37/22 , H01J37/263 , H01J2237/057 , H01J2237/1534 , H01J2237/2802 , H01J37/261 , H01J37/265
Abstract: 本发明公开具有增强的能量范围的柱后滤波器。本发明涉及针对（扫描）透射电子显微镜（（S）TEM）的柱后过滤器（PCF）。传统上，这些过滤器使用在EFTEM和EELS模式二者中同样的在狭缝平面之前的光学元件的激发。尽管这便于本领域中的技术人员开发和调谐PCF的任务，由于其将自由度数目减少到可管理的数量。发明人发现用来确定针对EELS模式的狭缝平面之前的光学元件的设置，其与EFTEM模式不同，并且其中PCF在EELS模式中的性能改进（特别地是可以被成像的相对能量范围），而没有使PCF在EFTEM模式中的性能降级。
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公开(公告)号：CN102737933A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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