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公开(公告)号：CN119768483A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380060788.2
申请日：2023-08-22
Applicant: AGC株式会社
IPC: C09K3/14 , B24B1/00 , B24B37/015 , B24B53/017 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供能够高速且高平坦地研磨包含树脂的被研磨面的研磨剂、研磨剂用添加液和研磨方法。一种研磨剂，用于对包含树脂的被研磨面进行研磨，含有磨粒、水溶性含氮化合物和水，上述水溶性含氮化合物包含下述式(1)～(3)表示的化合物或其盐。其中，各符号如说明书中记载。#imgabs0#
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