公开(公告)号：CN115609466A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202210819920.0

申请日：2022-07-13

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 秋山秀

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B49/08 ,  G01N29/04 ,  G01N29/22

Abstract: 本发明涉及一种异常检测装置，具备：AE传感器(61)，设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20)；浆料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连；液体供给装置(12)，向浆料流路(29)供给浆料(S)，使浆料(S)介于玻璃板(G)与检测面(63)之间并从研磨板(40)的上表面(40a)送出；以及异常检测部(17)，基于来自经由浆料(S)对来自玻璃板(G)的弹性波进行检测的AE传感器(61)的检测信号来判定玻璃板(G)的异常的有无。并且，涉及一种异常检测方法以及包括该异常检测方法的玻璃板的生产方法。

公开(公告)号：CN107378750B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201710227903.7

申请日：2017-04-10

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 秋山秀 ,  桥本宜佳 ,  女部田裕一 ,  小原正彦

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/10

Abstract: 提供一种能够检测初期阶段的玻璃板的破裂的玻璃破裂检测方法及检测装置、玻璃板的研磨方法及研磨装置、以及玻璃板的制造方法。玻璃破裂检测装置(1)具备：向玻璃板(G)供给液体(L)的液体供给部(2)；配置在与液体(L)接触的位置的AE传感器(4)；对于从检测到来自玻璃板(G)的弹性波的AE传感器(4)输入的AE信号进行处理的信号处理部(6)。玻璃破裂检测装置(1)的信号处理部(6)通过来自AE传感器(4)的AE信号超过规定的阈值的情况来判断玻璃板(G)的破裂。

公开(公告)号：CN111941282A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010412086.4

申请日：2020-05-15

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 秋山秀

IPC: B24B49/00 ,  B24B7/24 ,  G01N29/14

Abstract: 提供能够高精度地检测针对被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置以及异常检测方法。具备：AE传感器(61)，其设置于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的抛光平台(20)，并经由介于AE传感器(61)与玻璃板(G)之间的浆液(S)来检测来自玻璃板(G)的弹性波；和异常检测部(17)，其基于来自AE传感器(61)的检测信号，来判定玻璃板(G)的异常的有无，AE传感器(61)配置在抛光平台(20)中的玻璃板(G)的载置位置的正下方。