公开(公告)号：CN105856061B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201610211042.9

申请日：2012-03-12

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 女部田裕一 ,  斋藤准一 ,  中村英生 ,  木村宏

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/26

CPC classification number: B24B37/10 ,  B24B37/26 ,  G02F1/1303 ,  G02F2201/48

Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。

公开(公告)号：CN107378750B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201710227903.7

申请日：2017-04-10

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 秋山秀 ,  桥本宜佳 ,  女部田裕一 ,  小原正彦

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/10

Abstract: 提供一种能够检测初期阶段的玻璃板的破裂的玻璃破裂检测方法及检测装置、玻璃板的研磨方法及研磨装置、以及玻璃板的制造方法。玻璃破裂检测装置(1)具备：向玻璃板(G)供给液体(L)的液体供给部(2)；配置在与液体(L)接触的位置的AE传感器(4)；对于从检测到来自玻璃板(G)的弹性波的AE传感器(4)输入的AE信号进行处理的信号处理部(6)。玻璃破裂检测装置(1)的信号处理部(6)通过来自AE传感器(4)的AE信号超过规定的阈值的情况来判断玻璃板(G)的破裂。