激光照射装置及照射方法、装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101185988A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200710148545.7

    申请日:2007-08-29

    CPC classification number: B23K26/0738 B23K26/066 H01S3/005

    Abstract: 本发明提供一种激光照射装置、激光照射方法、薄膜半导体装置的制造方法以及显示装置的制造方法,防止在利用截取部件截取线状激光时、被截取部件表面反射的激光对半导体膜的结晶化工序造成不良影响。本发明的激光装置包括:工作台(3),其对形成有半导体膜(5)的基板(4)进行支承;光学系统(1),其将向基板(4)照射的激光的截面形成线状;一对截取部件(2),其将由光学系统(1)形成线状的激光LB在线长度方向X上截取规定的长度,在各个截取部件(2)的用于截取的遮光部上设有获取并吸收激光LB的多个翼片(7)。

    激光照射装置及照射方法、装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101185988B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200710148545.7

    申请日:2007-08-29

    CPC classification number: B23K26/0738 B23K26/066 H01S3/005

    Abstract: 本发明提供一种激光照射装置、激光照射方法、薄膜半导体装置的制造方法以及显示装置的制造方法,防止在利用截取部件截取线状激光时、被截取部件表面反射的激光对半导体膜的结晶化工序造成不良影响。本发明的激光装置包括:工作台(3),其对形成有半导体膜(5)的基板(4)进行支承;光学系统(1),其将向基板(4)照射的激光的截面形成线状;一对截取部件(2),其将由光学系统(1)形成线状的激光LB在线长度方向X上截取规定的长度,在各个截取部件(2)的用于截取的遮光部上设有获取并吸收激光LB的多个翼片(7)。

    显示装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101714327A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200910179421.4

    申请日:2009-10-09

    CPC classification number: G09G3/3233 G09G2320/043 G09G2360/14

    Abstract: 一种显示装置,包括面板和光电检测器,在面板中被自发光元件照亮的多个像素布置成阵列;光电检测器被布置在面板的后表面上,用于测量像素的亮度。所述像素中的每个像素都具有在发光层下面提供的反射层上的开口部分,以透射从发光层发出的光。

    显示装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101714327B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200910179421.4

    申请日:2009-10-09

    CPC classification number: G09G3/3233 G09G2320/043 G09G2360/14

    Abstract: 一种显示装置,包括面板和光电检测器,在面板中被自发光元件照亮的多个像素布置成阵列;光电检测器被布置在面板的后表面上,用于测量像素的亮度。所述像素中的每个像素都具有在发光层下面提供的反射层上的开口部分,以透射从发光层发出的光。

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