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公开(公告)号：CN101249748B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810005959.9
申请日：2008-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供了一种能够小型化、能够容易地实现高密度化、多喷嘴化的液滴喷出头及其制造方法，进而提供通过装载本发明的液滴喷出头、能够实现装置的小型化、能够应对高精细·高品位的液滴喷出与高速驱动的液滴喷出装置。该液滴喷出头为以下构造：与喷出液滴的多个喷嘴孔(5)的各个喷嘴孔分别连接的喷出室(6)、能够变位地对形成在喷出室底壁的振动板(8)进行驱动的执行器(14)、和与所述喷出室的各喷出室公用地连通的储存部(17)分别划分形成在不同的平面上，为了将与储存部的形成面(13)垂直的方向的投影面包含在所述喷出室以及所述执行器的形成面(11、12)内，将所述喷出室、所述执行器和所述储存部按照该顺序层叠配置。
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公开(公告)号：CN1824508A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610004142.0
申请日：2006-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14411 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种能够实现喷嘴等的多列化，且体积小、耐久性优良的液滴喷出头等。该液滴喷出头具有：形成有多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)；腔室基板(3)，其由底壁形成振动板(11)，并形成了成为喷出室(12)的凹部(12a)；电极基板(2)，其形成有与振动板(11)相对置的分立电极(7)；贮液槽基板(4)，其具有凹部(13a)、贯通孔(14)、和喷嘴连通孔(15)；和向分立电极(7)供给驱动信号的驱动IC(20)，在腔室基板(3)上设有第1孔部(21)，在贮液槽基板(4)上设有第2孔部(23)，通过连通第1孔部(21)和第2孔部(23)而形成收纳部(24)，驱动IC(20)被收纳在收纳部(24)内。
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公开(公告)号：CN1820947A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610004250.8
申请日：2006-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种静电激励器，具备：构成一方的电极的振动板(12)、和形成与振动板(12)隔着间隙(20)对置的对置电极(17)的电极基板(3)，对置电极(17)在形成于电极基板(3)上的平面形状为大致长方形的槽部(19)中形成，且静电激励器形成为随着向槽部(19)的长边方向的中央部，间隙(20)变大的多段的面。这样便提供一种以很低的驱动电压便可驱动的静电激励器以及其制造方法、应用该静电激励器的液滴喷头以及其制造方法、搭载该液滴喷头的液滴喷吐装置、搭载所述静电激励器的设备。
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公开(公告)号：CN1788999A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510131045.3
申请日：2005-12-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供具有施加相同电压时发生压力高且绝缘耐性优异的绝缘膜的静电驱动器、适用该静电驱动器的液滴喷头及其制造方法、适用该液滴喷头的打印性能等高的液滴喷出装置以及适用上述静电驱动器的驱动性能高的设备。其具备振动板(12)、与该振动板(12)隔开间隙对置的对置电极(17)、在振动板(12)侧的表面形成的绝缘膜(16)，该绝缘膜(16)具有至少由相对介电常数比氧化硅高的物质构成的高介电常数膜(16a)。
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公开(公告)号：CN1567502A
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN03148740.8
申请日：2003-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种稳定性、耐久性良好的发热元件和基板及其高效率和高精度的制造方法，以及使用它们的装置。以至少一部分扩散了硼等杂质的具有导电性的硅基板作为材料，进行蚀刻加工，与硅基板一体地制作加热部，该加热部设置去除角部分或具有圆形角部分的一个或多个狭缝。与此同时，为了控制加热部的加热状态，一体地形成在下部设置的凹部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112078248B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202010522572.1
申请日：2020-06-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有可靠性较高的贯穿配线的配线基板、能够高效地制造所涉及的配线基板的配线基板制造方法、以及具备所述配线基板的喷墨头、MEMS装置以及振荡器。所述配线基板的特征在于，具有：第一基板，其具有第一面和与所述第一面为相反侧的第二面；第一配线，其被设置在所述第一面上；第二配线，其被设置在所述第二面上；贯穿配线，其对所述第一配线和所述第二配线进行电连接，并贯穿所述第一基板，所述贯穿配线包括：第一贯穿配线，其与所述第一配线相连接；第二贯穿配线，其与所述第二配线相连接，在从所述第一基板的厚度方向进行的俯视观察时，所述第一贯穿配线与所述第二贯穿配线局部重叠。
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公开(公告)号：CN103731116A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310459275.7
申请日：2013-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , B81B3/0013 , B81B2201/0271 , H03H3/0072 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02291 , H03H2009/02472 , Y10T29/49124
Abstract: 振子、振子的制造方法、电子设备以及移动体。本发明提供在制造工序中可动电极不会发生粘连而能够稳定制造的振子。MEMS振子（100）具备晶片基板（110）、设置在晶片基板（110）的主面上的固定下部电极（120）（第1电极）、一个端部固定到晶片基板（110）上的支撑部件（140）、以及可动上部电极（130）（第2电极），可动上部电极（130）与支撑部件（140）的另一个端部接合，并具有隔着间隙与固定下部电极（120）重叠的区域，支撑部件（140）具有加强区域（140s），在加强区域（140s）中，支撑部件（140）在晶片基板（110）的厚度方向上的厚度比可动上部电极（130）在晶片基板（110）的厚度方向上的厚度厚。
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公开(公告)号：CN100455441C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200610004142.0
申请日：2006-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14411 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种能够实现喷嘴等的多列化，且体积小、耐久性优良的液滴喷出头等。该液滴喷出头具有：形成有多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)；腔室基板(3)，其由底壁形成振动板(11)，并形成了成为喷出室(12)的凹部(12a)；电极基板(2)，其形成有与振动板(11)相对置的分立电极(7)；贮液槽基板(4)，其具有凹部(13a)、贯通孔(14)、和喷嘴连通孔(15)；和向分立电极(7)供给驱动信号的驱动IC(20)，在腔室基板(3)上设有第1孔部(21)，在贮液槽基板(4)上设有第2孔部(23)，通过连通第1孔部(21)和第2孔部(23)而形成收纳部(24)，驱动IC(20)被收纳在收纳部(24)内。
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公开(公告)号：CN1623781A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410102237.7
申请日：2000-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04578 , B41J2/04588 , B41J2/04596 , B41J2/14314 , B41J2/16517 , B41J2/16526 , B41J29/393
Abstract: 本发明提供一种喷墨记录装置的控制方法，该喷墨记录装置包括：具有用于喷出墨液滴的多个墨喷嘴的喷墨头；对各墨喷嘴内部的墨施加压力的压力产生机构，其特征在于，该方法包括下述步骤：传送步骤，在该步骤中使上述喷墨头相对打印媒体移动；空载驱动步骤，在该步骤中通过上述压力产生机构、使上述各墨喷嘴中的墨微小气泡产生微振动；控制步骤，在该步骤中，在先于对上述打印媒体进行的打印动作而进行的通过传送步骤使上述喷墨头作相对移动期间，进行上述空载驱动步骤。
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公开(公告)号：CN1179849C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN01117221.5
申请日：2001-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14403 , B41J2002/14419 , B41J2202/21
Abstract: 静电驱动式喷墨头(1)，具有电极玻璃基板(11)、模腔基板(12)和喷嘴基板(13)三层结构，在模腔基板(12)上形成油墨压力室用凹部(21)，在层叠于其上的喷嘴基板(12)上，形成油墨喷嘴用喷嘴槽(220和公共油墨室用凹部(24)，以及作为将公共油墨室(6)与各油墨压力室(4)连通的油墨供应孔的贯通孔(23)。因此，由于在与各油墨压力室(4)相对的喷墨头厚度方向上层叠配置公共油墨室(6)，所以可减小喷墨头长度方向(Y)的尺寸。并且，由于在喷嘴基板(12)上形成公共油墨室用凹部，所以可以不附加另外的基板等即可层叠公共油墨室，因而，可抑制喷墨头厚度方向的尺寸的增加，获得整体上小型化的喷墨头。
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