热电型光检测器及制造方法、热电型光检测装置及电子设备

    公开(公告)号:CN102235912B

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201110074402.2

    申请日:2011-03-25

    CPC classification number: G01J5/048 G01J5/02 G01J5/024 G01J5/34 H01L37/02

    Abstract: 本发明提供了热电型光检测器、热电型光检测装置、电子设备和热电型光检测器的制造方法。该热电型光检测器包括:热电型光检测元件;安装了热电型光检测元件的支撑部件;在与热电型光检测元件相对的位置配置空穴部并支撑该支撑部件的固定部;在从热电型光检测元件侧看的俯视图上沿着支撑部件的轮廓开口并与空穴部连通的开口部;以及覆盖支撑部件的第一面、支撑部件的面对开口部的侧面以及在俯视图中露出的热电型光检测元件及支撑部件的外表面的第一还原气体阻隔层。

    热电型光检测器及制造方法、热电型光检测装置及电子设备

    公开(公告)号:CN102235912A

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201110074402.2

    申请日:2011-03-25

    CPC classification number: G01J5/048 G01J5/02 G01J5/024 G01J5/34 H01L37/02

    Abstract: 本发明提供了热电型光检测器、热电型光检测装置、电子设备和热电型光检测器的制造方法。该热电型光检测器包括:热电型光检测元件;安装了热电型光检测元件的支撑部件;在与热电型光检测元件相对的位置配置空穴部并支撑该支撑部件的固定部;在从热电型光检测元件侧看的俯视图上沿着支撑部件的轮廓开口并与空穴部连通的开口部;以及覆盖支撑部件的第一面、支撑部件的面对开口部的侧面以及在俯视图中露出的热电型光检测元件及支撑部件的外表面的第一还原气体阻隔层。

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