公开(公告)号：CN1196173C

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN00136495.2

申请日：2000-12-27

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 久保田健 ,  小松纪和

IPC: H01L21/00 ,  G02F1/13

CPC classification number: H01L21/67167 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67236 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/14

Abstract: 可以得到能够防止起因于与外部气氛接触的化学性污染的液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法。具备清洗处理室(1a、1b)、在清洗处理室内清洗完毕的层的上边进行成膜处理的成膜处理室(2)、从清洗处理室向成膜处理室移动基板(11)而不会暴露于外气中的外气隔断移送装置(3、4)。

公开(公告)号：CN1307326A

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN00136495.2

申请日：2000-12-27

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 久保田健 ,  小松纪和

IPC: G09G3/36 ,  G02F1/13

CPC classification number: H01L21/67167 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67236 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/14

Abstract: 可以得到能够防止起因于与外部气氛接触的化学性污染的液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法。具备清洗处理室(1a、1b)、在清洗处理室内清洗完毕的层的上边进行成膜处理的成膜处理室(2)、从清洗处理室向成膜处理室移动基板(11)而不会暴露于外气中的外气隔断移送装置(3、4)。

公开(公告)号：CN119828405A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202411415080.7

申请日：2024-10-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小松纪和 ,  江川明 ,  小林步 ,  石田彻

IPC: G03B21/20 ,  G02B7/00 ,  F21V9/32

Abstract: 本发明提供波长转换装置、光源装置以及投影仪，能够提高基材与波长转换元件的接合强度。波长转换装置具有：基材，其由铜和铜合金中的任一方构成；铜氧化层，其形成于基材的第1面；接合加强层，其是含有氧化锡并层叠于铜氧化层的氧化锡层；接合层，其配置于接合加强层；以及波长转换元件，其配置于接合层。