公开(公告)号：CN102566275A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110378325.X

申请日：2011-11-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  任美罗 ,  田桓承 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0751 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]

公开(公告)号：CN102053498B

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201010190605.3

申请日：2010-05-27

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承

IPC: G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。

公开(公告)号：CN102540724A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110238394.0

申请日：2011-08-18

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  李种和 ,  任美罗 ,  赵显龙 ,  车明焕 ,  田桓承

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/312

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。

公开(公告)号：CN103186039B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201210287599.2

申请日：2012-08-13

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C08G8/30 ,  G03F7/09 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/28 ,  C08G73/22 ,  C08L61/14 ,  C08L79/04 ,  G03F7/023 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。

公开(公告)号：CN102557945A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110374282.8

申请日：2011-11-22

Applicant: 第一毛织株式会社 ,  三星电子株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  李种和 ,  田桓承 ,  金洙荣 ,  金永虎 ,  金在贤 ,  朴秀敏

IPC: C07C69/84 ,  G03F7/039 ,  G03F7/016

CPC classification number: G03F7/0226 ,  C07C69/84 ,  G03F7/0233

Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物，所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。

公开(公告)号：CN102540725A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110374325.2

申请日：2011-11-22

Applicant: 第一毛织株式会社 ,  三星电子株式会社

Inventor： 赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承 ,  金洙荣 ,  金永虎 ,  金宰贤 ,  朴秀敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]

公开(公告)号：CN102177469A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN200880131449.4

申请日：2008-12-31

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 俞龙植 ,  赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  郑知英 ,  郑闵鞠 ,  李吉成

IPC: G03F7/039

Abstract: 本发明涉及正性光敏树脂组合物，其包括(A)聚酰胺聚合物，(B)酯化醌二叠氮化合物，(C)含酚基化合物，和(D)溶剂。正性光敏树脂组合物具有优异的耐热性，并能够提供高灵敏度和高分辨率的精细图案。

公开(公告)号：CN102540725B

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201110374325.2

申请日：2011-11-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承 ,  金洙荣 ,  金永虎 ,  金宰贤 ,  朴秀敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]

公开(公告)号：CN103186039A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201210287599.2

申请日：2012-08-13

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李种和 ,  赵显龙 ,  郑闵鞠 ,  郑知英 ,  车明焕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C08G8/30 ,  G03F7/09 ,  H01L23/29

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G8/28 ,  C08G73/22 ,  C08L61/14 ,  C08L79/04 ,  G03F7/023 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。

公开(公告)号：CN102531910A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110301200.7

申请日：2011-09-28

Applicant: 第一毛织株式会社 ,  三星电子株式会社

Inventor： 郑闵鞠 ,  郑知英 ,  赵显龙 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  李种和 ,  田桓承 ,  金洙荣 ,  金永虎 ,  金在贤 ,  朴秀敏

IPC: C07C205/42 ,  C07C201/12 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C205/42 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/0755

Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物，和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]