公开(公告)号：CN104422819A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410452684.9

申请日：2014-09-05

Applicant: 瑞萨电子株式会社

Inventor： 根本敬继 ,  中柴康隆 ,  桥本隆介 ,  内田慎一 ,  吴一宪 ,  大江宽 ,  吉川法子

IPC: G01R19/25 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L23/5227 ,  G01R15/181 ,  G01R21/00 ,  G01R31/2607 ,  G01R33/06 ,  H01F21/00 ,  H01F27/2804 ,  H01F2017/0073 ,  H01L23/5286 ,  H01L28/10

Abstract: 本发明涉及一种传感器设备。所述传感器设备包括电力线和半导体器件。半导体器件包括电感器。电感器使用互连层(如后续使用图3描述)形成。当从垂直于半导体器件的方向观察时，电力线和半导体器件彼此重叠。半导体器件包括两个电感器。当从垂直于半导体器件的方向观察时，电力线在两个电感器之间延伸。