公开(公告)号：CN102156195A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN201110004616.2

申请日：2007-08-09

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 松永雅敬 ,  佐藤健二

IPC: G01P1/02 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01C19/56 ,  H01L2924/181 ,  H05K3/3426 ,  Y10T29/49002 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种惯性传感器、惯性传感器装置及其制造方法。惯性传感器能够在不使检测元件的检测性能恶化的情况下将检测轴设定为预定角度。惯性传感器具有：与安装基板电连接的多个引线；陀螺传感器(10)，其根据由上述多个引线构成的引线端子(20)的形状来确定设置角度，而且包括响应相对于检测轴(70)的动作的传感器；以及模制件，其固定陀螺传感器(10)，并使模制外壳的底面(61)的垂线和检测轴(70)构成预定角度。

公开(公告)号：CN101126646B

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200710140340.4

申请日：2007-08-09

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 松永雅敬 ,  佐藤健二

IPC: G01C21/16 ,  G01C21/18 ,  G01C21/10 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01C19/56 ,  H01L2924/181 ,  H05K3/3426 ,  Y10T29/49002 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种惯性传感器、惯性传感器装置及其制造方法。惯性传感器能够在不使检测元件的检测性能恶化的情况下将检测轴设定为预定角度。惯性传感器具有：与安装基板电连接的多个引线；陀螺传感器(10)，其根据由上述多个引线构成的引线端子(20)的形状来确定设置角度，而且包括响应相对于检测轴(70)的动作的传感器；以及模制件，其固定陀螺传感器(10)，并使模制外壳的底面(61)的垂线和检测轴(70)构成预定角度。

公开(公告)号：CN101126646A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200710140340.4

申请日：2007-08-09

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 松永雅敬 ,  佐藤健二

IPC: G01C21/16 ,  G01C21/18 ,  G01C21/10 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01C19/56 ,  H01L2924/181 ,  H05K3/3426 ,  Y10T29/49002 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种惯性传感器、惯性传感器装置及其制造方法。惯性传感器能够在不使检测元件的检测性能恶化的情况下将检测轴设定为预定角度。惯性传感器具有：与安装基板电连接的多个引线；陀螺传感器(10)，其根据由上述多个引线构成的引线端子(20)的形状来确定设置角度，而且包括响应相对于检测轴(70)的动作的传感器；以及模制件，其固定陀螺传感器(10)，并使模制外壳的底面(61)的垂线和检测轴(70)构成预定角度。

公开(公告)号：CN1866736A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200610080291.5

申请日：2006-05-16

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 佐藤健二

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19 ,  H03H3/02

Abstract: 压电基板及其制造方法。本发明的课题是获得Q值高、寄生少的厚度切变振子及其批量生产手段。作为解决手段，将压电基板构成为，在圆形或矩形的平板状的压电基板的中央一体地形成在基板的上下对置的预定大小的突起部(台面部)，并且，该突起部的上表面和基板的周缘部(倒角部)的面形成为同一球面状。其制造方法是，使用光刻技术和蚀刻方法在平板状的压电基板上形成台面形压电基板，将该压电基板与研磨剂一起放入圆筒容器中，按照预定的旋转速度旋转，制造台面一倒角型石英基板。