离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法

    公开(公告)号:CN114164395B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202111443771.4

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法,设备包括:炉体;位于炉体内的工件盘;位于炉体内的工件盘上方的阳极板;位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极;位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒;第一电源,用于为空心阴极筒和辅助阴极提供脉冲电压的第一电源;和用于为工件盘提供脉冲偏置电压的第二电源。系统包括:离子氮碳硫多元共渗设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮、氢、碳和硫元素的气体,并控制第一电源和第二电源的关断。本公开可提高离子扩渗炉内的离子体密度,有效增加扩渗层厚度和表面硬度,以此提高扩渗质量,同时方便阳极清洗。

    CrWZrN多层梯度结构涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN115074677A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210531419.4

    申请日:2022-05-16

    Abstract: 本发明公开了一种CrWZrN多层梯度结构涂层及其制备方法。所述CrWZrN多层梯度结构涂层包括:基底;以及依次沉积在所述基底表面的Cr打底层、CrN过渡层、CrWN过渡层和CrWZrN涂层。本发明在CrWZrN多层梯度结构涂层中引入了W、Zr、Cr和N元素,进一步提高了材料的表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性,并使得基体和涂层间保持合理的多层硬度梯度,在合理控制内应力的同时还提升了基体和涂层的结合强度。

    射频磁场辅助离子渗氮装置及方法

    公开(公告)号:CN118308685A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410413677.1

    申请日:2024-04-08

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及表面处理技术领域,特别涉及一种射频磁场辅助离子渗氮装置及方法,其中,该装置设置在目标离子渗氮炉中,具体包括:绝缘屏蔽部件,绝缘屏蔽部件用于放置目标工件,并使目标工件处于悬浮状态;射频电源,射频电源用于发射预设功率的电信号;匹配器,匹配器与射频电源连接,用于匹配射频电源与电磁线圈之间的阻抗;电磁线圈,电磁线圈穿过绝缘屏蔽部件与匹配器连接,用于根据电信号激发电磁感应等离子体,以对目标工件进行离子渗氮。由此,解决了传统阴极辉光放电离子渗氮技术中等离子体密度低、渗氮效率低等问题。

    离子氮碳硫多元共渗辅助设备、处理系统及方法

    公开(公告)号:CN114481008B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202210066178.0

    申请日:2022-01-20

    Abstract: 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗辅助设备、处理系统及方法,辅助设备包括:放置在离子扩渗炉的炉体顶部的空心阴极离子源,放置于炉体侧壁上的绝缘壳体,和多个同轴且由内至外依次间隔排布于绝缘壳体内的电磁铁,相邻两个电磁铁的绕线方式相反,多个电磁铁用于在离子扩渗炉内形成可控的磁场,以改变金属工件表面电子的运动轨迹和金属工件的磁畴。处理系统包括:离子扩渗炉、离子氮碳硫多元共渗辅助设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。处理方法包括向炉体内通入含有氮元素、碳元素、氢元素和硫元素的气体,并向金属工件提供可控的磁场。本公开可减少工件表面硫化物的间隙,使硬度呈现缓慢下降的趋势,提高工件表面硬度和使用寿命。

    一种钛合金表面离子碳氮共渗处理装置

    公开(公告)号:CN112795863A

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN202011619364.X

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明属于钛及钛合金表面处理技术领域,具体涉及一种钛合金表面离子碳氮共渗处理装置。装置中采用了双电源体系、一套直流电源控制辅助阴极,通过向辅助阴极施加电压,可以加速辅助阴极附近氩气的电离,激发离子碰撞加速升温,同时能够对工件及炉内腔体起到清洁的作用;另一套高频脉冲偏压电源负极与工件相连,正极接地,使得工件处于负电位,负偏压对工件表面等离子体的扩渗过程起到了加速的作用,可以提高离子对工件表面的轰击作用,增强扩渗层的附着力和致密度。氨气、二氧化碳作为扩渗介质,在电子的碰撞下形成具有较高内能的电子激发态离子,制得厚度适中、组织均匀的扩渗层,显著提升钛的力学性能及摩擦学性能。

    一种钛合金表面离子碳氮共渗处理装置

    公开(公告)号:CN112795863B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202011619364.X

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明属于钛及钛合金表面处理技术领域,具体涉及一种钛合金表面离子碳氮共渗处理装置。装置中采用了双电源体系、一套直流电源控制辅助阴极,通过向辅助阴极施加电压,可以加速辅助阴极附近氩气的电离,激发离子碰撞加速升温,同时能够对工件及炉内腔体起到清洁的作用;另一套高频脉冲偏压电源负极与工件相连,正极接地,使得工件处于负电位,负偏压对工件表面等离子体的扩渗过程起到了加速的作用,可以提高离子对工件表面的轰击作用,增强扩渗层的附着力和致密度。氨气、二氧化碳作为扩渗介质,在电子的碰撞下形成具有较高内能的电子激发态离子,制得厚度适中、组织均匀的扩渗层,显著提升钛的力学性能及摩擦学性能。

Patent Agency Ranking