公开(公告)号：CN105973909A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201510731461.0

申请日：2015-11-02

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 江川弘一 ,  宫田佳昭 ,  林信二郎

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/95

Abstract: 本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

公开(公告)号：CN105973909B

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201510731461.0

申请日：2015-11-02

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 江川弘一 ,  宫田佳昭 ,  林信二郎

IPC: G01N21/95

Abstract: 本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

公开(公告)号：CN107894430A

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201710822228.2

申请日：2017-09-13

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 江川弘一 ,  中田雅博 ,  松下明 ,  宫田佳昭 ,  林信二郎

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/894

CPC classification number: G01N21/892 ,  G01N21/894 ,  G01N2021/8925

Abstract: 本发明提供一种能够检测片状被检查物中所含异常部位和判别异常种类的技术的片材检查装置。该片材检查装置具有：光源，对被检查物的第1面照射光；摄像传感器，被配置成，能够通过从光源照射并透射过被检查物的光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述摄像传感器所获得的被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由处理部所判别的异常种类的信息，所述光源的光量和/或所述摄像传感器的增益经调整为，在未配置被检查物的状态下从光源直接入射至摄像传感器的光的亮度达到与摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。