公开(公告)号：CN104986725A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201510414119.8

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  徐文俊 ,  李思敏 ,  李琦 ,  首照宇 ,  高喜 ,  肖功利

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/04

Abstract: 本发明公开一种周期性碗状结构模板及其制备方法，包括：在基底上沉积二氧化硅掩膜层，在其上旋涂光刻胶，制备周期性微纳米光刻胶点阵图形，在光刻胶结构上沉积一层金属薄膜，经过剥离后得到金属孔阵图形，再以金属孔阵结构为掩膜，采用湿法腐蚀技术形成二氧化硅的碗状阵列结构，最后除去金属掩膜。本发明制备的周期性碗状模板面积大，结构均匀完整，在制备图形衬底、光子晶体、表面粗化、表面制绒和微纳米器件等方面有很好的应用前景，能广泛应用于LED、太阳能电池、光子晶体、量子器件等方面，或作为基底材料的刻蚀掩膜层，用于其它微纳米结构的制造。

公开(公告)号：CN204999607U

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201520510415.3

申请日：2015-07-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李海鸥 ,  徐文俊 ,  李思敏 ,  李琦 ,  首照宇 ,  高喜 ,  肖功利

IPC: B81B7/04

Abstract: 本实用新型公开一种周期性碗状结构模板，包括基底1和位于基底1上方的二氧化硅2，二氧化硅2上部形成多个碗状的金属孔3，且这些金属孔3在二氧化硅2上部呈周期性排布。上述金属孔3呈十字排布、六方排布及其他周期性排布，其周期范围为10纳米～10微米。本实用新型制备的周期性碗状模板面积大，结构均匀完整，在制备图形衬底、光子晶体、表面粗化、表面制绒和微纳米器件等方面有很好的应用前景，能广泛应用于LED、太阳能电池、光子晶体、量子器件等方面，或作为基底材料的刻蚀掩膜层，用于其它微纳米结构的制造。