公开(公告)号：CN115362157A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180025692.3

申请日：2021-03-18

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 福岛亮太 ,  武田圭介 ,  远津正挥

IPC: C07F3/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明提供下述通式(1)或(2)表示的锌化合物。(式(1)中，R1表示未取代的碳原子数1～5的烷基等，R2和R5各自独立地表示氢原子、氟原子、未取代的碳原子数1～5的烷基等，R3和R4各自独立地表示氢原子、氟原子、未取代的碳原子数1～5的烷基等。)(式(2)中，R10、R11、R14及R15各自独立地表示氢原子、氟原子、未取代的碳原子数为1～5的烷基等，R9、R12、R13及R16各自独立地表示氢原子、氟原子、未取代的碳原子数为1～5的烷基等)。

公开(公告)号：CN115380038A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202180027605.8

申请日：2021-03-31

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 吉野智晴 ,  大江佳毅 ,  武田圭介 ,  福岛亮太 ,  满井千瑛 ,  山下敦史

IPC: C07F15/06 ,  C07F7/22 ,  H01L21/285 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明提供下述通式(1)所示的脒基化合物或其二聚体化合物、以及将所述化合物用作原料的薄膜的制造方法。(式中，R1和R2各自独立地表示碳原子数1～5的烷基，R3表示氢原子或碳原子数1～5的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示M所示的原子的价数，其中，R1～R3中的至少一个氢原子被氟原子取代。)