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公开(公告)号：CN108474998A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780005499.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明获得一种能抑制接合界面处的剥离，并且获得较大振幅的振动装置。振动装置(2)包括筒状构件(14)；具有固定于筒状构件(14)的压电振子(16)的筒状振动体部(12)；以及外周部与筒状构件(14)的前端面(14b)接合，且具有配置于透镜(9)的前方的透光性部分的透光体部(13)。利用筒状振动体部(12)的振动使透光体部(13)以弯曲模式振动。透光体部(13)的外周部与筒状振动体部(12)的前端面(14b)接合，使得弯曲模式中，Z方向上透光体部(13)的中央最大位移部分和与前端面(14b)连结的外周部在以相同方向位移的第一模式、和以反向位移的第二模式中，第一模式和第二模式的节点位于前端面(14b)和外周部的接合界面内。
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公开(公告)号：CN108474998B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201780005499.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明获得一种能抑制接合界面处的剥离，并且获得较大振幅的振动装置。振动装置(2)包括筒状构件(14)；具有固定于筒状构件(14)的压电振子(16)的筒状振动体部(12)；以及外周部与筒状构件(14)的前端面(14b)接合，且具有配置于透镜(9)的前方的透光性部分的透光体部(13)。利用筒状振动体部(12)的振动使透光体部(13)以弯曲模式振动。透光体部(13)的外周部与筒状振动体部(12)的前端面(14b)接合，使得弯曲模式中，Z方向上透光体部(13)的中央最大位移部分和与前端面(14b)连结的外周部在以相同方向位移的第一模式、和以反向位移的第二模式中，第一模式和第二模式的节点位于前端面(14b)和外周部的接合界面内。
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公开(公告)号：CN109076152B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201780025546.4
申请日：2017-05-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种容易使附着于振动体的透光性部分的水滴等移动和雾化的振动装置。振动装置包括：振动体，其具有透光性部分和振动部，所述透光性部分具有彼此相对的第1主面(15a)和第2主面(15b)，所述振动部与透光性部分相连，与透光性部分一同以主振动的方式进行振动；以及压电振子，其固定于振动部，在不与透光性部分的中心重叠的位置设有用于产生与主振动不同的局部振动的多个局部振动部。
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公开(公告)号：CN104471675A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380034371.5
申请日：2013-06-14
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L21/027 , G03F9/00 , H01L21/3065
CPC classification number: H01G4/12 , G03F9/7076 , G03F9/708 , H01G4/33 , H01L21/31144 , H01L28/82 , H01L28/60
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够将损伤较少的对准标记用于蚀刻时的光掩膜的定位的薄膜层叠元件的制造方法。本发明的薄膜层叠元件的制造方法具备：第二工序，在该第二工序中通过使用了光蚀刻法的蚀刻来在薄膜层叠体(7)上形成元件部(10)以及对准标记；以及第三工序，在该第三工序中具有：在薄膜层叠体(7)上涂覆感光性抗蚀剂的步骤、将具有对准图案的光掩膜通过对准图案与在前面的工序中形成的对准标记的位置匹配来配置在感光性抗蚀剂上的步骤、对感光性抗蚀剂曝光并显影的步骤、以及通过对涂覆了感光性抗蚀剂的薄膜层叠体蚀刻来在薄膜层叠体上形成元件部以及对准标记的步骤。
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公开(公告)号：CN108370407B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201680072811.X
申请日：2016-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够提高相机主体的可靠性、并且能够充分地去除附着于透镜盖的水滴等的振动装置。振动装置(1)包括：支承体(4)，该支承体具有第一主表面(4d)(一方主表面)和第二主表面(4e)(另一方主表面)，并且具有以开口于第一主表面(4d)和第二主表面(4e)的方式贯穿的贯穿孔；第一振动元件(5A)，配置于支承体(4)的第一主表面(4d)侧；第二振动元件(5B)，配置于支承体(4)的第二主表面(4e)侧。第一振动元件(5A)至少具有第一振动体(5A1)，该第一振动体具有透光性。第二振动元件(5B)具有第二振动体(5B1)和设置于第二振动体(5B1)上的第二压电振子(5B2)(压电振子)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108476275A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680074951.0
申请日：2016-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种振动装置，该振动装置能够将圆顶型盖部和外部透镜的水滴等去除，并且能够保持相机的视野清晰。振动装置(2)包括筒状振动体(12)以及与筒状振动体(12)的第一表面连接的透镜盖部(20)，筒状振动体(12)具有筒状构件(13)和压电振子(14)，透镜盖部(20)具有模态转换结合部(21)和配置于相机(1)的透镜(9)的前方的透光体部(22)，模态转换结合部(21)具有厚度比筒状构件(13)的厚度薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN108370407A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680072811.X
申请日：2016-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够提高相机主体的可靠性、并且能够充分地去除附着于透镜盖的水滴等的振动装置。振动装置(1)包括：支承体(4)，该支承体具有第一主表面(4d)(一方主表面)和第二主表面(4e)(另一方主表面)，并且具有以开口于第一主表面(4d)和第二主表面(4e)的方式贯穿的贯穿孔；第一振动元件(5A)，配置于支承体(4)的第一主表面(4d)侧；第二振动元件(5B)，配置于支承体(4)的第二主表面(4e)侧。第一振动元件(5A)至少具有第一振动体(5A1)，该第一振动体具有透光性。第二振动元件(5B)具有第二振动体(5B1)和设置于第二振动体(5B1)上的第二压电振子(5B2)(压电振子)。
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公开(公告)号：CN107852449B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201680040944.9
申请日：2016-06-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种振动装置，能不对压电振子施加较大负荷，有利地去除附着在外罩、镜头上的水滴等。振动装置(2)使用于具有透镜(9)的摄像头主体。振动装置具有：设有压电振子(15)的筒状振动体部(12)；与筒状振动体部(12)的一端连结的筒状的模式转换结合部(21)；以及与模式转换结合部(21)接合的透光体部(22)。透光体部(22)具有配置在透镜(9)的前方的透光性部分。模式转换结合部(21)具有与筒状振动体部(12)相比、厚度较薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN108476275B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201680074951.0
申请日：2016-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种振动装置，该振动装置能够将圆顶型盖部和外部透镜的水滴等去除，并且能够保持相机的视野清晰。振动装置(2)包括筒状振动体(12)以及与筒状振动体(12)的第一表面连接的透镜盖部(20)，筒状振动体(12)具有筒状构件(13)和压电振子(14)，透镜盖部(20)具有模态转换结合部(21)和配置于相机(1)的透镜(9)的前方的透光体部(22)，模态转换结合部(21)具有厚度比筒状构件(13)的厚度薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN109076152A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780025546.4
申请日：2017-05-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种容易使附着于振动体的透光性部分的水滴等移动和雾化的振动装置。振动装置包括：振动体，其具有透光性部分和振动部，所述透光性部分具有彼此相对的第1主面(15a)和第2主面(15b)，所述振动部与透光性部分相连，与透光性部分一同以主振动的方式进行振动；以及压电振子，其固定于振动部，在不与透光性部分的中心重叠的位置设有用于产生与主振动不同的局部振动的多个局部振动部。
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