公开(公告)号：CN118511432A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202380016410.2

申请日：2023-01-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 大门克也 ,  井山明洋

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

Abstract: 本发明提供一种能够使产生无用波的频率远离反谐振频率的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板，具有支承构件和压电层(14)，支承构件包含支承基板，压电层(14)设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极(IDT电极(11))，设置在压电层(14)上，具有至少一对电极指；以及电介质膜(25)，设置在压电层(14)上，使得覆盖至少一对电极指。在沿着支承构件以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。电极指具有：第1面(11a)和第2面(11b)，在厚度方向上相互对置；侧面(第1侧面部(11c)、第2侧面部(11d))，与第1面(11a)以及第2面(11b)连接；以及电极指棱线部(第1电极指棱线部(11e)、第2电极指棱线部(11f))，连接着侧面以及第1面(11a)。在第1面(11a)以及第2面(11b)之中，第2面(11b)位于压电层(14)侧。电介质膜(25)具有：电极指面覆盖部(25a)，覆盖电极指的第1面(11a)；侧面覆盖部(第1侧面覆盖部(25c)、第2侧面覆盖部(25d))，覆盖电极指的侧面；以及电介质膜棱线部(第1电介质膜棱线部(25e)、第2电介质膜棱线部(25f))，连接着侧面覆盖部以及电极指面覆盖部(25a)。电介质膜棱线部以及电极指棱线部的双方为曲面状，电介质膜棱线部的至少一部分的曲率半径比电极指棱线部的至少一部分的曲率半径大。

公开(公告)号：CN118511434A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202380016421.0

申请日：2023-01-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 大门克也 ,  井山明洋

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够在谐振频率附近抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板，具有支承构件和压电层(14)，支承构件包含支承基板，压电层(14)设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极(IDT电极(11))，设置在压电层(14)上，具有至少一对电极指；以及电介质膜(25)，设置在压电层(14)上，使得覆盖至少一对电极指。在俯视下与功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。电极指具有：第1面(11a)和第2面(11b)，在厚度方向上相互对置；和侧面，与第1面(11a)以及第2面(11b)连接。在第1面(11a)以及第2面(11b)之中，第1面(11a)位于压电层(14)侧。电极指的侧面具有在与电极指延伸的方向正交的方向上彼此相互对置的第1侧面部(11c)和第2侧面部(11d)。电介质膜(25)具有覆盖电极指的第1侧面部(11c)的第1侧面覆盖部(25c)以及覆盖第2侧面部(11d)的第2侧面覆盖部(25d)。第1侧面覆盖部(25c)包含第1外表面(25e)。第2侧面覆盖部(25d)包含第2外表面(25f)。将电极指的第1面(11a)和第1侧面部(11c)所成的角的角度设为θ1，将第1面(11a)和第2侧面部(11d)所成的角的角度设为θ2。将从电介质膜(25)的第1外表面(25e)的压电层(14)侧的端缘部与第1面(11a)平行地向第2侧面覆盖部(25d)侧延伸的第1假想平面(N1)和第1外表面(25e)所成的角的角度设为θ3，将从第2外表面(25f)的压电层(14)侧的端缘部与第1面(11a)平行地向第1侧面覆盖部(25c)侧延伸的第2假想平面和第2外表面(25f)所成的角的角度设为θ4。弹性波装置(10)满足θ1≠θ3以及θ2≠θ4中的至少一者。

公开(公告)号：CN118511433A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202380016419.3

申请日：2023-01-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 大门克也 ,  井山明洋

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够使产生无用波的频率远离反谐振频率的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板，具有支承构件和压电层(14)，支承构件包含支承基板，压电层(14)设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极(IDT电极(11))，设置在压电层(14)上，具有至少一对电极指；以及电介质膜(25)，设置在压电层(14)上，使得覆盖至少一对电极指(第1电极指(28)以及第2电极指)。在俯视下与功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。电极指具有：第1面(11a)和第2面(11b)，在厚度方向上相互对置；以及侧面(第1侧面部(11c)、第2侧面部(11d))，与第1面(11a)以及第2面(11b)连接。在第1面(11a)以及第2面(11b)之中，第2面(11b)位于压电层(14)侧。电介质膜(25)具有：电极指面覆盖部(25a)，覆盖电极指的第1面(11a)；侧面覆盖部(第1侧面覆盖部(25c)、第2侧面覆盖部(25d))，覆盖电极指的侧面；以及压电层覆盖部(25b)，覆盖压电层(14)。电极指面覆盖部(25a)包含位于与电极指延伸的方向正交的方向上的中央的中央部(25x)。在将连接着侧面覆盖部以及压电层覆盖部(25b)的部分设为连接部(第1连接部(25e)、第2连接部(25f))，并将连接部的厚度的最小值设为tcm时，tcm≥0。在将电极指面覆盖部(25a)的中央部(25x)的厚度设为te时，te＞tcm。

公开(公告)号：CN117321916A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202280034576.2

申请日：2022-04-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井山明洋 ,  石井优太

IPC: H03H9/25

Abstract: 提供能够抑制频率特性中的纹波的压电体波装置。本发明的压电体波装置(10)具备：压电性基板(12)，具有包括硅基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上的压电层(14)；第一布线电极(17A)及第二布线电极(17B)，设置在压电性基板(12)上；以及功能电极，设置在压电层(14)上，与第一布线电极(17A)及第二布线电极(17B)中的至少一个连接，且具有多个电极。第一布线电极(17A)、第二布线电极(17B)及功能电极的多个电极中的至少任意一个是与不同的电位连接的第一电极膜及第二电极膜。硅基板(16)的面方位是(111)，在将n设为任意的整数时，硅基板(16)的欧拉角 中的ψ是10°+120°×n≤ψ≤50°+120°×n或70°+120°×n≤ψ≤110°+120°×n的范围内的角度。

公开(公告)号：CN119072850A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202380030452.1

申请日：2023-03-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 大门克也 ,  井山明洋

IPC: H03H9/145

Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制无用波。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：支承构件，包含支承基板；压电层（14），设置在支承构件上；IDT电极（11），设置在压电层（14）上，具有相互对置的1对汇流条（第1、第2汇流条26、27）和多个电极指（多个第1、第2电极指28、29）；以及多个质量附加膜（17），设置在多个电极指上。在沿着支承构件以及压电层（14）的层叠方向观察的俯视下，在支承构件中的与IDT电极（11）的至少一部分重叠的位置设置有声反射部。在将压电层（14）的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在从与多个电极指延伸的电极指延伸方向正交的电极指正交方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域（F）。交叉区域（F）包含中央区域（H）、和在电极指延伸方向上夹着中央区域（H）相互对置的第1边缘区域（Ea）以及第2边缘区域（Eb）。多个质量附加膜（17）的至少一部分在俯视下分别与中央区域（H）重叠。在将沿着电极指正交方向的质量附加膜（17）的尺寸设为质量附加膜（17）的宽度时，至少1个质量附加膜（17）的宽度与其他质量附加膜（17）的宽度不同。

公开(公告)号：CN117121375A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025686.2

申请日：2022-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井山明洋 ,  石井优太

IPC: H03H9/145

Abstract: 本发明提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承基板(16)上，具有相互对置的第1主面(14a)以及第2主面(14b)；功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或第2主面(14b)；第1布线(17A)，设置在压电层(14)上，与功能电极连接；第2布线(17B)，设置在压电层(14)上，与第1布线(17B)对置，并且连接于与第1布线(17A)不同的电位；以及衰减层(19)，在俯视下设置在第1布线(17A)与第2布线(17B)之间，包含密度比压电层(14)低的电介质。