公开(公告)号：CN103250028A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180057374.1

申请日：2011-12-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 藤井刚 ,  山本贤作

IPC: G01C19/5607 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  H01L41/1132

Abstract: 角速度传感器具备检测元件，该检测元件具有以XYZ空间定义的形状，并且能够检测绕Z轴的角速度。检测元件具有：沿X轴方向延伸的支承体、与支承体连接的臂、与该臂连接的重量物。臂具有与支承体连接的第一端、以及与重量物连接的第二端。臂实质上具有由第一臂部、第二臂部和第三臂部构成的J字形状，其中，第一臂部从第一端沿Y轴方向延伸至第一角部，第二臂部从第一角部沿X轴方向延伸至第二角部，第三臂部从第二角部沿Y轴方向延伸至第二端。臂的X轴方向的长度大于重量物的X轴方向的长度。该角速度传感器能够提高对于绕Z轴的角速度的灵敏度。

公开(公告)号：CN104185773A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201380012802.8

申请日：2013-03-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石田贵巳 ,  山本贤作

IPC: G01C19/5628 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01P15/0922 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/097 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1132 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1876

Abstract: 本发明的惯性力传感器具备：基部；连接用电极，其设置于基部；可挠部，其由基部支撑；驱动部，其设置于可挠部的上表面；检测部，其设置于可挠部的上表面；层间绝缘层，其配置于驱动部与检测部中的一方的上表面；和布线，其经由层间绝缘层的上表面将驱动部与检测部中的另一方与连接用电极电连接。该惯性力传感器能够提高灵敏度，并且小型。