公开(公告)号：CN103221777A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201180055413.4

申请日：2011-11-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石田贵巳 ,  藤井刚

IPC: G01C19/5607 ,  G01P15/10 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01P15/097 ,  H01L41/0805

Abstract: 惯性力传感器具备：基体、设于基体的转换器、设于基体且与转换器连接的配线。配线具有：形成于基体上的下部电极层、形成于下部电极层上的压电层、形成于压电层上的电容减少层和形成于电容减少层上的上部电极层。电容减少层的介电常数比压电层的介电常数小。该惯性力传感器能够改善噪声等级。

公开(公告)号：CN103250028A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180057374.1

申请日：2011-12-22

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 藤井刚 ,  山本贤作

IPC: G01C19/5607 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/574 ,  H01L41/1132

Abstract: 角速度传感器具备检测元件，该检测元件具有以XYZ空间定义的形状，并且能够检测绕Z轴的角速度。检测元件具有：沿X轴方向延伸的支承体、与支承体连接的臂、与该臂连接的重量物。臂具有与支承体连接的第一端、以及与重量物连接的第二端。臂实质上具有由第一臂部、第二臂部和第三臂部构成的J字形状，其中，第一臂部从第一端沿Y轴方向延伸至第一角部，第二臂部从第一角部沿X轴方向延伸至第二角部，第三臂部从第二角部沿Y轴方向延伸至第二端。臂的X轴方向的长度大于重量物的X轴方向的长度。该角速度传感器能够提高对于绕Z轴的角速度的灵敏度。