公开(公告)号：CN108027388B

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201680054606.0

申请日：2016-08-03

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 金丸昌敏 ,  前田大辅 ,  林雅秀 ,  由良昌士 ,  冈本章博

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明提供一种降低从外部施加的力的影响、可靠性优异的物理量传感器。本发明的物理量传感器具有：重锤或可动电极，其形成于装置基板；以及外周部，其以环绕所述重锤或可动电极的方式配置，所述重锤或可动电极能够在平面内沿转动方向位移，在所述重锤或可动电极在平面内沿转动方向发生了位移时从所述重锤或可动电极的中心位置观察到的端部的外周部设置有转动空间。

公开(公告)号：CN108027388A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680054606.0

申请日：2016-08-03

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 金丸昌敏 ,  前田大辅 ,  林雅秀 ,  由良昌士 ,  冈本章博

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明提供一种降低从外部施加的力的影响、可靠性优异的物理量传感器。本发明的物理量传感器具有：重锤或可动电极，其形成于装置基板；以及外周部，其以环绕所述重锤或可动电极的方式配置，所述重锤或可动电极能够在平面内沿转动方向位移，在所述重锤或可动电极在平面内沿转动方向发生了位移时从所述重锤或可动电极的中心位置观察到的端部的外周部设置有转动空间。