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公开(公告)号：CN109312453A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035284.X
申请日：2017-05-31
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 当在膜基材上形成多层光学薄膜的光学膜的制造的预备成膜时，通过对多个溅镀室同时通电来在膜基材上形成两个以上的不同种类材料的薄膜的层叠体，并且根据由设置于溅镀装置内的光学测定部(80)得到的光学特性计算多个薄膜的膜厚。重复进行膜厚的测定和薄膜的成膜条件的调整直至由光学测定部得到的光学特性或根据光学特性计算的多个薄膜的膜厚处于规定范围内为止。
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公开(公告)号：CN109312453B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201780035284.X
申请日：2017-05-31
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 当在膜基材上形成多层光学薄膜的光学膜的制造的预备成膜时，通过对多个溅镀室同时通电来在膜基材上形成两个以上的不同种类材料的薄膜的层叠体，并且根据由设置于溅镀装置内的光学测定部(80)得到的光学特性计算多个薄膜的膜厚。重复进行膜厚的测定和薄膜的成膜条件的调整直至由光学测定部得到的光学特性或根据光学特性计算的多个薄膜的膜厚处于规定范围内为止。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109312455B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN201780035580.X
申请日：2017-06-02
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 高精度地估计多层膜的各层的膜厚。设定各层的目标膜厚值。求出各层为目标膜厚值时的第一理论光学值。测定多层膜(6)的实测光学值。将目标膜厚值设为各层的膜厚的第一估计膜厚值。求出实测光学值与第一理论光学值之差(第一光学值差)，并将第一光学值差与预先设定的收敛条件进行比较。在第一光学值差不满足收敛条件的情况下，设定各层的第二估计膜厚值，其中，该第二估计膜厚值被预测为比第一光学值差小的光学值差。求出各层的膜厚为第二估计膜厚值时的光学特性的理论值(第二理论光学值)。求出实测光学值与第二理论光学值之差(第二光学值差)，并将第二光学值差与收敛条件进行比较。重复进行各步骤，来获得实测光学值与各步骤的理论光学值之差满足收敛条件的各层的估计膜厚值(最精准估计膜厚值)。
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公开(公告)号：CN109312455A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035580.X
申请日：2017-06-02
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 高精度地估计多层膜的各层的膜厚。设定各层的目标膜厚值。求出各层为目标膜厚值时的第一理论光学值。测定多层膜(6)的实测光学值。将目标膜厚值设为各层的膜厚的第一估计膜厚值。求出实测光学值与第一理论光学值之差(第一光学值差)，并将第一光学值差与预先设定的收敛条件进行比较。在第一光学值差不满足收敛条件的情况下，设定各层的第二估计膜厚值，其中，该第二估计膜厚值被预测为比第一光学值差小的光学值差。求出各层的膜厚为第二估计膜厚值时的光学特性的理论值(第二理论光学值)。求出实测光学值与第二理论光学值之差(第二光学值差)，并将第二光学值差与收敛条件进行比较。重复进行各步骤，来获得实测光学值与各步骤的理论光学值之差满足收敛条件的各层的估计膜厚值(最精准估计膜厚值)。
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公开(公告)号：CN118792623A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410815711.8
申请日：2017-06-02
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明涉及一种多层膜的成膜方法，是通过辊对辊工艺实现的多层膜的成膜方法，将构成该多层膜的各层隔开时间间隔地逐层地进行层叠，该多层膜的成膜方法包括以下步骤：所述多层膜被形成于纵长的基材膜的表面；设定所述各层的膜厚的目标值即目标膜厚值；求出所形成的多层膜的各层的估计膜厚即估计膜厚值；求出所述各层的成膜参数变更量，其中，所述各层的成膜参数变更量用于使所述各层的所述目标膜厚值与所述估计膜厚值之差最小化；以及隔开所述时间间隔地将实际的成膜中使用的所述各层的成膜参数依次变更与所述各层的成膜参数变更量相应的量。
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公开(公告)号：CN109312454A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035507.2
申请日：2017-06-02
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 在将构成多层膜的各层隔开时间间隔地逐层地进行层叠的多层膜的成膜方法中，实现不浪费材料和时间的各层的膜厚修正。多层膜的成膜方法包括以下步骤：设定各层的膜厚的目标值(目标膜厚值)；求出所形成的多层膜(6)的各层的估计膜厚(估计膜厚值)；求出各层的成膜参数变更量，该各层的成膜参数变更量用于使各层的目标膜厚值与估计膜厚值之差最小化；以及隔开时间间隔地将各层的成膜参数依次变更与各层的成膜参数变更量相应的量。
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公开(公告)号：CN103517768A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201380001237.5
申请日：2013-02-04
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B05C1/0886 , B05C5/0266 , B05D1/00 , B05D1/26 , B05D2252/02 , B05D2506/10 , B29C47/0021 , B29C47/026 , B29C47/0808 , B29C47/16 , B29C2947/92628
Abstract: 本发明的模具式涂布装置特征在于设置有供给辊（20）、模具（21）和卷取辊（22），还设置有配置在比模具（21）更靠近上游位置的卷材横向末端位置检测单元（28）和配置在比模具（21）更靠近下游位置的膜横向末端位置检测单元（29），模具（21）具有配置在模具（21）的两端部并构成为在模具（21）内的移动变得容易的一对内部定边器（35）和驱动单元（32），基于由卷材横向末端位置检测单元（28）检测的卷材T的横向两端位置（30a、30b）的信息及由膜横向末端位置检测单元（29）检测的涂布液膜（23）的横向两端位置（31a、31b）的信息，使驱动单元（32）驱动，由此变更各内部定边器（35）相对于模具（21）的相对位置。
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