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公开(公告)号：CN118020147A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280064312.1
申请日：2022-08-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , C23C16/458 , C23C16/46
Abstract: 本文提供的公开内容的实施方式一般涉及底部覆盖板(BCR)，该底部覆盖板实现对用于处理基板的腔室内部的加热元件的辐射损失的控制。加热元件用于在处理之前或期间加热基板，并且可能因腔室中不均匀的热损失而不均匀地加热基板。举例而言，基板的不均匀加热可能导致材料在基板上的不均匀沉积，从而可能导致为校正沉积而执行的过度处理或者因处置处理不当的基板而产生的废品。BCR可用于校正基板的不均匀加热。
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