具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103430260B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201180069245.4

    申请日:2011-03-16

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有:给予物理性支承的支承基板;一对固定部件,其被形成在支承基板上,并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部;可动电极,其被一对固定部件的支承部支承,对置的第一侧面和第二侧面构成电极面,并且至少一部分能够弹性变形;第一固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面;以及第二固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。

    具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103703528A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201180072466.7

    申请日:2011-08-10

    Inventor: 丰田治 宓晓宇

    CPC classification number: G02F1/1343 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供具有使用了液晶的新的构成的可变电容元件的电子设备。具有可变电容元件的电子设备具有:电介质基板;高频信号线路,其形成在电介质基板表面上;接地导体,其以与高频线路对置的方式形成在电介质基板上;电容上部电极,其被配置在电介质基板表面上方,并与高频信号线路对置;以及液晶材料,其被填充在高频信号线路与电容上部电极对置的空间。

    诊断装置、诊断方法及程序

    公开(公告)号:CN105407796A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201380076333.6

    申请日:2013-05-10

    Abstract: 传感器部具有多个传感器单元,该多个传感器单元在检测诊断对象的脉动的区域内,以经由传感器对上述区域施加了压力的状态检测上述脉动,并以矩阵状设置于传感器。诊断装置根据在所施加的压力为一定的状态下检测出的脉动取得脉搏的分布,根据脉搏的分布确定上述区域内的多个观察位置,并且增加压力而在确定出的多个观察位置中确定具有最大振幅的脉搏。对根据在各观察位置获得具有最大振幅的脉搏时的压力将各观察位置的脉动数值化的分值进行运算,合并多个观察位置的分值。根据合并而得到的分值,参照预先储存有对于分值的、诊断对象被类推出的状态的数据库,来类推诊断对象的状态(症状),根据类推出的诊断对象的状态(症状)生成对于诊断对象的诊断结果并输出。

    制造MEMS器件的方法以及MEMS器件

    公开(公告)号:CN102190286B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201110057805.6

    申请日:2011-03-04

    CPC classification number: H01G7/00 H01H57/00 H01R9/00

    Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件,并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤:在衬底上形成第一电极,其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部;在第一电极上形成牺牲层,其中牺牲层具有第一倾斜边缘,该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置,使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小;在第一电极上形成第一隔离体,其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触;在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极;以及在形成梁电极以后去除牺牲层。

    具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103430260A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201180069245.4

    申请日:2011-03-16

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有:给予物理性支承的支承基板;一对固定部件,其被形成在支承基板上,并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部;可动电极,其被一对固定部件的支承部支承,对置的第一侧面和第二侧面构成电极面,并且至少一部分能够弹性变形;第一固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面;以及第二固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。

    MEMS设备
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102194572A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110049686.X

    申请日:2011-02-28

    CPC classification number: H01G5/18

    Abstract: 一种MEMS设备,包括:衬底;固定电极,其被设置在该衬底上并且允许信号通过其中;可移动电极,其以面向该固定电极的方式设置在该衬底上方并且允许信号通过其中;驱动线,其被设置在该衬底内部并且被用作施加驱动电极以移置该可移动电极;以及第一电阻,其被设置在形成于该衬底内部的第一过孔中,并且被用作切断信号。通过第一电阻将固定电极或者可移动电极连接到驱动线。

Patent Agency Ranking