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公开(公告)号：CN103641062B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310694352.7
申请日：2013-12-17
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备微纳结构的方法，包括以下步骤：1）首先，选择一种基板，基板溶于刻蚀溶液；2）在基板上沉积一层膜层，膜层不溶于刻蚀溶液；3）在膜层上沉积一层牺牲层，牺牲层溶于刻蚀溶液；4）根据要制备结构，重复步骤2）和步骤3）；5）将步骤4）沉积所得层结构和基板一起固定在基底上，基底不溶于刻蚀溶液；6）将步骤5）所得样品放入刻蚀溶液中，将基板和牺牲层刻蚀掉，得到膜层与基底形成的微纳结构。通过简单的操作步骤，就可以制备出尺寸精度高、表面光洁度好、深度比大、一致性好和侧壁陡的结构；且加工出的结构最小特征尺寸范围大，可以从光学加工的纳米数量级到机械加工的米数量级，适用范围广。
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公开(公告)号：CN103762136B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201410027668.5
申请日：2014-01-21
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行光栅的制作方法，利用两种不同材料对某种刻蚀溶液的抗刻蚀程度不同，把这两种材料通过压制、打磨等简单机械手段分别制作成两类板体，不同材料制成的板体交叉排列，通过两种板体的尺寸来控制制备光栅的周期，宽度、高度等特征参数。然后把这种交叉排列的板体绑定到一个基板上。最后，通过选择某一刻蚀溶液去除其中一种材料的板体，而留下另一类材料的板体就会形成光栅状结构。本发明所需设备成本低廉，工艺简单，制备出的成品平行光栅具有尺寸精度高、表面及侧面光洁度好、均匀一致性好、硬度强和侧壁陡等优点。
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公开(公告)号：CN105068167A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510493965.3
申请日：2015-08-12
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种光栅的制备方法，所述制备方法包括：(1)制备光栅原板；(2)在所述光栅原板上设置L个槽宽d不小于d0，槽深h不小于h0的槽，形成光栅毛坯；(3)将所述光栅毛坯进行电铸；(4)将经过步骤(3)处理的所述光栅毛坯打磨，制得光栅；其中，所述d0为光栅的槽宽，所述h0为光栅的槽深。该光栅的制备方法能够突破加工设备的最小加工宽度的限制，加工出深宽比大、侧面光滑陡峭的光栅。
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公开(公告)号：CN104459857A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410691930.6
申请日：2014-11-25
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1847
Abstract: 本发明公开一种梳形光栅的制备方法，其中，所述制备方法包括：(1)对金属待加工件表面进行抛光，得到初制件；(2)在初制件的一个侧面上等间距地加工出多个凹槽，得到梳形光栅初坯A1；(3)将梳形光栅初坯A1在电解液中进行电镀，得到梳形光栅毛坯A2，所述梳形光栅毛坯A2的凹槽的槽宽等于预设槽宽，所述梳形光栅毛坯A2的凹槽的槽深等于预设槽深；(4)将梳形光栅毛坯A2进行打磨，得到梳形光栅。本发明通过将金属待加工件表面先进行抛光后，而后加工多个凹槽，在具有凹槽的基础上再进行电镀，最后在对其表面进行打磨，从而获得符合要求的梳形光栅。使得其达到要求，不仅操作方法简单，且降低机械设备的精密度要求，节省生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103762136A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410027668.5
申请日：2014-01-21
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行光栅的制作方法，利用两种不同材料对某种刻蚀溶液的抗刻蚀程度不同，把这两种材料通过压制、打磨等简单机械手段分别制作成两类板体，不同材料制成的板体交叉排列，通过两种板体的尺寸来控制制备光栅的周期，宽度、高度等特征参数。然后把这种交叉排列的板体绑定到一个基板上。最后，通过选择某一刻蚀溶液去除其中一种材料的板体，而留下另一类材料的板体就会形成光栅状结构。本发明所需设备成本低廉，工艺简单，制备出的成品平行光栅具有尺寸精度高、表面及侧面光洁度好、均匀一致性好、硬度强和侧壁陡等优点。
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公开(公告)号：CN103700561B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310732969.3
申请日：2013-12-27
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于钡钨阴极的活性组合物及其制备方法和钡钨阴极的制备方法。本发明提供的用于钡钨阴极的活性组合物含有碳酸钡、碳酸钙以及铝粉，以100重量份的碳酸钙为基准，碳酸钡的含量可为1200-1500重量份，铝粉的含量可为80-140重量份；优选地，以100重量份的碳酸钙为基准，碳酸钡的含量为1360-1410重量份，铝粉的含量为100-120重量份。本发明通过对碳酸钡、碳酸钙和铝粉的配比的优化，同时简化钡钨阴极活性物质的制备方法及钨钡阴极的制备过程，提高了铝酸盐钡钨阴极的电流发射能力，同时也降低工艺难度和成本。
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公开(公告)号：CN105280461A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510818035.0
申请日：2015-11-21
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种辐射电子加热式电子枪，所述电子枪包括绝缘子组件、依次设置的阳极板、用于发射电子的阴极组件和用于对阴极组件电子加热的灯丝组件，所述阳极板设有用于将发射电子导出的阳极孔，所述阳极板、阴极组件和灯丝组件两两之间通过绝缘子组件固定连接。本发明在加热方式上使用了电子加热阴极，具有寿命长、开关响应时间短、轴线长度短、工艺简单等特点。同时，采用平板电极结构，在形成细小电子束，尤其是带状电子束时能有效避免电子的扰动和电子含量少的电子束边缘涡流层，提高电子枪发射电子的质量。
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公开(公告)号：CN104037038A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410200317.X
申请日：2014-05-13
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法，通过两种不同厚度的薄板按照一定规则交叉叠加来制作具有一定周期结构的光栅，光栅的周期由两种薄板的厚度决定，光栅槽的宽度由其中一种薄板的厚度决定，而光栅槽的深度由两种薄板侧面的面间距决定。该方法能够制备出深宽比大、侧面光滑陡峭的高精度光栅，该光栅结构可广泛应用到真空电子器件的慢波结构和精细加工模具的制造中。
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公开(公告)号：CN106229246A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610789938.5
申请日：2016-08-31
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: H01J23/075 , H01J23/05
Abstract: 本发明公开真空电子磁控管的冷阴极电子枪，磁控管上设置有强磁场，该冷阴极电子枪包括：阳极单元，阳极单元呈环状结构，且内部形成一个容纳腔；铜基底，铜基底呈空心柱状，且与阳极单元同轴相间隔地设置，铜基底的一端延伸至容纳腔中；冷阴极，冷阴极包覆于铜基底的外表面上；加热阴极，加热阴极和铜基底同轴相间隔设置，且加热阴极的表面能够发射电子。该真空电子磁控管的冷阴极电子枪克服了现有技术中的冷阴极寿命不高的问题，提高了冷阴极电子枪的寿命。
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