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公开(公告)号：CN104037038B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410200317.X
申请日：2014-05-13
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法，通过两种不同厚度的薄板按照一定规则交叉叠加来制作具有一定周期结构的光栅，光栅的周期由两种薄板的厚度决定，光栅槽的宽度由其中一种薄板的厚度决定，而光栅槽的深度由两种薄板侧面的面间距决定。该方法能够制备出深宽比大、侧面光滑陡峭的高精度光栅，该光栅结构可广泛应用到真空电子器件的慢波结构和精细加工模具的制造中。
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公开(公告)号：CN103641062A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310694352.7
申请日：2013-12-17
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备微纳结构的方法，包括以下步骤：1）首先，选择一种基板，基板溶于刻蚀溶液；2）在基板上沉积一层膜层，膜层不溶于刻蚀溶液；3）在膜层上沉积一层牺牲层，牺牲层溶于刻蚀溶液；4）根据要制备结构，重复步骤2）和步骤3）；5）将步骤4）沉积所得层结构和基板一起固定在基底上，基底不溶于刻蚀溶液；6）将步骤5）所得样品放入刻蚀溶液中，将基板和牺牲层刻蚀掉，得到膜层与基底形成的微纳结构。通过简单的操作步骤，就可以制备出尺寸精度高、表面光洁度好、深度比大、一致性好和侧壁陡的结构；且加工出的结构最小特征尺寸范围大，可以从光学加工的纳米数量级到机械加工的米数量级，适用范围广。
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公开(公告)号：CN101580954B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200910117130.2
申请日：2009-06-23
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: C25D3/56
Abstract: 本发明公开了一种用于镀铼的组合物及其使用方法，所述的组合物中每升去离子水溶液中溶质成分为：10～30g铼酸钾、3～9g硫酸铵、40～80g硫酸镍，其使用方法包括清洗工序、清洗烘干工序、退火工序、酸洗工序、酸洗烘干工序、电镀工序、高频退火工序，本发明与现有技术相比，通过在铼酸钾及硫酸胺中加入硫酸镍减少了镀铼所需要的材料，降低了镀膜过程中的温度要求，降低了电流密度，有效地节省了能源及材料，所形成的镀膜具有良好的吸附渗透效果。
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公开(公告)号：CN103641062B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310694352.7
申请日：2013-12-17
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备微纳结构的方法，包括以下步骤：1）首先，选择一种基板，基板溶于刻蚀溶液；2）在基板上沉积一层膜层，膜层不溶于刻蚀溶液；3）在膜层上沉积一层牺牲层，牺牲层溶于刻蚀溶液；4）根据要制备结构，重复步骤2）和步骤3）；5）将步骤4）沉积所得层结构和基板一起固定在基底上，基底不溶于刻蚀溶液；6）将步骤5）所得样品放入刻蚀溶液中，将基板和牺牲层刻蚀掉，得到膜层与基底形成的微纳结构。通过简单的操作步骤，就可以制备出尺寸精度高、表面光洁度好、深度比大、一致性好和侧壁陡的结构；且加工出的结构最小特征尺寸范围大，可以从光学加工的纳米数量级到机械加工的米数量级，适用范围广。
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公开(公告)号：CN101859674A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010173490.7
申请日：2010-05-12
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明属于真空电子器件领域，特别涉及到一种测试多注行波管周期磁聚焦系统电子注通过率的方法，通过将多注行波管中的栅极分成几个区域，将这些切割开的栅极彼此绝缘焊接在陶瓷支架上，并通过引线引出到行波管真空室外。当需要测试某一个区域栅极电子注的流通率时，可以将其他区域栅极的电压接到负偏压上，使得其他区域的电子注处于截止状态，不发射电子，此时测得的流通率就是所测试区域的电子注的流通率。利用本测试方法，可以准确详细的测试多注行波管各区域电子注的流通率，通过分析数据，改进周期磁聚焦的设计，提高电子注流通率，从而满足广大设计人员提高多注行波管电子流通率的迫切需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104037038A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410200317.X
申请日：2014-05-13
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法，通过两种不同厚度的薄板按照一定规则交叉叠加来制作具有一定周期结构的光栅，光栅的周期由两种薄板的厚度决定，光栅槽的宽度由其中一种薄板的厚度决定，而光栅槽的深度由两种薄板侧面的面间距决定。该方法能够制备出深宽比大、侧面光滑陡峭的高精度光栅，该光栅结构可广泛应用到真空电子器件的慢波结构和精细加工模具的制造中。
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公开(公告)号：CN101673648B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200910180426.9
申请日：2009-10-14
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: H01J9/00
Abstract: 一种多注行波管耦合腔膜片的加工方法，属于真空电子器件领域，其特征在于，按照以下流程步骤操作，a.备电工纯铁棒料；b.在精密机床上车外沿、切断棒料端面；c.去油、酸洗、氢炉退火，退火温度800℃，保持时间30min，冷却时间50min；d.在台钻上用钻模定位孔插入销钉后再钻中心九孔；e.零件车削、绞孔及电火花粗加工腰形槽；f.零件去毛刺、去油、检测、挑选；g.电火花精切割腰形槽；h.零件检测、挑选、氢气退火、再检验、挑选；i.零件模压、校准；j.再去油、清洗、挑选；k.包装、储藏。利用本工艺流程的各步骤，可以制造合格的、适用于多注行波管的耦合腔膜片零件较易实现批量生产，可以获得较高的合格率。
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公开(公告)号：CN101673648A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910180426.9
申请日：2009-10-14
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: H01J9/00
Abstract: 一种多注行波管耦合腔膜片的加工方法，属于真空电子器件领域，其特征在于，按照以下流程步骤操作，a.备电工纯铁棒料；b.在精密机床上车外沿、切断面；c.去油、酸洗、氢炉退火；d.在台钻上用钻模定位孔插入销钉后再钻中心九孔；e.零件车削、绞孔及电火花粗加工腰形槽；f.零件去毛刺、去油、检测、挑选；g.电火花精切割腰形槽；h.零件检测、挑选、氢气退火、再检验、挑选；i.零件模压、校准；j.再去油、清洗、挑选；k.包装、储藏。利用本工艺流程的各步骤，可以制造合格的、适用于多注行波管的耦合腔膜片零件较易实现批量生产，可以获得较高的合格率。
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公开(公告)号：CN101859674B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010173490.7
申请日：2010-05-12
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
Abstract: 本发明属于真空电子器件领域，特别涉及到一种测试多注行波管周期磁聚焦系统电子注通过率的方法，通过将多注行波管中的栅极分成几个区域，将这些切割开的栅极彼此绝缘焊接在陶瓷支架上，并通过引线引出到行波管真空室外。当需要测试某一个区域栅极电子注通过率时，可以将其他区域栅极的电压接到负偏压上，使得其他区域的电子注处于截止状态不发射电子，此时测得的通过率就是所测试区域的电子注通过率。利用本测试方法，可以准确详细的测试多注行波管各区域电子注通过率，通过分析数据，改进周期磁聚焦的设计，提高电子注通过率，从而满足广大设计人员提高多注行波管电子通过率的迫切需求。
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公开(公告)号：CN105161815A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510497068.X
申请日：2015-08-12
Applicant: 安徽华东光电技术研究所
IPC: H01P11/00
Abstract: 本发明公开了一种制备矩形波导的方法，包括：一种制备矩形波导的方法，包括：(a)将第一模杆(4)置于坯管(3)管腔的一端；(b)通过外力挤压所述坯管(3)以使得所述坯管(3)的内壁与所述第一模杆(4)的外表面紧密接触；(c)将第二模杆(5)置于所述坯管(3)管腔的另一端；(d)在所述坯管(3)管腔的外表面上设置夹持模具；(e)固定所述第一模杆(4)，牵引所述坯管(3)沿所述第二模杆(5)所在的一端的方向移动，形成矩形波导毛坯件；(f)截取所述矩形波导毛坯件并加工形成矩形波导。该制备矩形波导的方法操作简单，避免焊接过程中对矩形波导精度的影响，提高了矩形波导的生产效率。
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