公开(公告)号：CN103837288A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310588418.4

申请日：2013-11-21

Applicant: 大陆汽车系统公司

Inventor： J-H.A.邱 ,  X.丁 ,  S-H.S.陈 ,  J.弗里

IPC: G01L9/06

CPC classification number: G01L9/06 ,  G01L9/0054 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/04 ,  G01L19/141 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明涉及具有低热噪声的压阻式转换器。在膜片被定位成从管芯的中心偏置的MEMS压阻式压力转换器中，通过将惠斯通电桥电路定位成远离支承台座和管芯的最大区域，使在惠斯通电桥电路的输出中的热感生的热噪声得到降低。