公开(公告)号：CN110872687B

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN201910826773.8

申请日：2019-09-03

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 木村优太 ,  胜见昌高 ,  川岛慎吾 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C22C14/00 ,  G02F1/1343

Abstract: 提供一种具备低反射率黑化膜的层叠体。层叠体(10)具有基材(18)、层叠在基材(18)上而形成电极和/或配线的金属层(32)、以及层叠在金属层(32)的与基材(18)相对的那一侧的面上的黑化膜(35)、以及/或者层叠在金属层(32)与基材(18)之间的黑化膜(34)。这些黑化膜(34)、(35)由(Ti1‑xMox)1‑yNy所表示的钛合金的氮化物、以及不可避免的杂质构成，x及y分别表示原子比并且满足0.03≦x≦0.28、0.40≦y≦0.60。

公开(公告)号：CN110872687A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201910826773.8

申请日：2019-09-03

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 木村优太 ,  胜见昌高 ,  川岛慎吾 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C22C14/00 ,  G02F1/1343

Abstract: 提供一种具备低反射率黑化膜的层叠体。层叠体(10)具有基材(18)、层叠在基材(18)上而形成电极和/或配线的金属层(32)、以及层叠在金属层(32)的与基材(18)相对的那一侧的面上的黑化膜(35)、以及/或者层叠在金属层(32)与基材(18)之间的黑化膜(34)。这些黑化膜(34)、(35)由(Ti1-xMox)1-yNy所表示的钛合金的氮化物、以及不可避免的杂质构成，x及y分别表示原子比并且满足0.03≦x≦0.28、0.40≦y≦0.60。