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公开(公告)号:CN103380366B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201280009272.7
申请日:2012-02-10
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 柳濑正和
IPC: G01N21/956 , G01B11/00 , G01N25/72 , G01N27/20 , G01R31/02
CPC classification number: G01N27/20 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01N25/72 , G01N2021/9513 , G01R31/309 , G09G3/006 , G09G2360/147
Abstract: 本发明的一个实施方式,即用于从形成有多个布线基板的母基板中检测出缺陷位置的缺陷检查方法,包括:通过分别对多个布线基板进行电阻检查,来检测出具有缺陷部的缺陷基板或包含缺陷部的缺陷块的工序;对缺陷基板或缺陷块施加电压,来使缺陷部发热的工序;利用第一红外摄像机对缺陷部发热的缺陷基板或缺陷块进行拍摄的工序;以及根据第一红外摄像机所拍摄到的图像来对缺陷部的位置进行宏观测量的工序。
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公开(公告)号:CN103620482A
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201280029756.8
申请日:2012-05-18
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 柳濑正和
CPC classification number: G01N21/8803 , G01N25/72 , G02F1/1309 , H04N5/33
Abstract: 本发明所涉及的缺陷检查装置用于检测形成于面板的配线的缺陷位置,具备:探测器,其对上述配线的端子部施加电压;探测器移动机构,其使上述探测器移动到上述端子部;第一红外传感器,其拍摄上述面板的整个面;第二红外传感器,其拍摄上述面板的局部;以及传感器移动机构,其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置,上述第一红外传感器包括多个红外照相机。
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公开(公告)号:CN101794595B
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201010120076.X
申请日:2010-01-25
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G11B7/1376 , G11B7/135
Abstract: 本发明是关于光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置的,目的在于提供可对利用差分推挽法的跟踪控制方式的光拾取器进行高精度的检查的检查装置及检查方法。光学拾取器(101)的检查装置(11)使物镜在光盘(106)的半径方向上进行反复变位,使用在此期间得到的差分推挽信号来判定衍射光栅的配置是否良好。具体而言,检查装置(11)的波形提取部(30)从差分推挽信号进行了数字变换后的时间序列数据中提取出上下包线。极值算出部(40)对提取出的上下包线的差的波形来算出多个极小值。判定部(50)根据所算出的多个极小值的偏差是否在预定范围内,来判定衍射光栅的配置是否良好。
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公开(公告)号:CN103620482B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201280029756.8
申请日:2012-05-18
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 柳濑正和
CPC classification number: G01N21/8803 , G01N25/72 , G02F1/1309 , H04N5/33
Abstract: 本发明所涉及的缺陷检查装置用于检测形成于面板的配线的缺陷位置,具备:探测器,其对上述配线的端子部施加电压;探测器移动机构,其使上述探测器移动到上述端子部;第一红外传感器,其拍摄上述面板的整个面;第二红外传感器,其拍摄上述面板的局部;以及传感器移动机构,其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置,上述第一红外传感器包括多个红外照相机。
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公开(公告)号:CN103765202A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201280040898.4
申请日:2012-09-10
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 柳濑正和
CPC classification number: G01R1/071 , G01R31/308 , G09G3/006 , G09G3/36
Abstract: 提供使用红外线相机分多次拍摄面板时能够恰当地进行缺陷检测的配线缺陷检测方法和装置。本发明所涉及的配线缺陷检测方法取得各检查区域和与各检查区域对应的焊盘的对应关系。本发明所涉及的配线缺陷检测装置具备焊盘切换单元,该焊盘切换单元基于该对应关系,将进行供电的焊盘切换为与各检查区域对应的焊盘。
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公开(公告)号:CN103380366A
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN201280009272.7
申请日:2012-02-10
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 柳濑正和
IPC: G01N21/956 , G01B11/00 , G01N25/72 , G01N27/20 , G01R31/02
CPC classification number: G01N27/20 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01N25/72 , G01N2021/9513 , G01R31/309 , G09G3/006 , G09G2360/147
Abstract: 本发明的一个实施方式,即用于从形成有多个布线基板的母基板中检测出缺陷位置的缺陷检查方法,包括:通过分别对多个布线基板进行电阻检查,来检测出具有缺陷部的缺陷基板或包含缺陷部的缺陷块的工序;对缺陷基板或缺陷块施加电压,来使缺陷部发热的工序;利用第一红外摄像机对缺陷部发热的缺陷基板或缺陷块进行拍摄的工序;以及根据第一红外摄像机所拍摄到的图像来对缺陷部的位置进行宏观测量的工序。
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公开(公告)号:CN101794595A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010120076.X
申请日:2010-01-25
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明是关于光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置的,目的在于提供可对利用差分推挽法的跟踪控制方式的光拾取器进行高精度的检查的检查装置及检查方法。光学拾取器(101)的检查装置(11)使物镜在光盘(106)的半径方向上进行反复变位,使用在此期间得到的差分推挽信号来判定衍射光栅的配置是否良好。具体而言,检查装置(11)的波形提取部(30)从差分推挽信号进行了数字变换后的时间序列数据中提取出上下包线。极值算出部(40)对提取出的上下包线的差的波形来算出多个极小值。判定部(50)根据所算出的多个极小值的偏差是否在预定范围内,来判定衍射光栅的配置是否良好。
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