缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号:CN103620482A

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201280029756.8

    申请日:2012-05-18

    Inventor: 柳濑正和

    CPC classification number: G01N21/8803 G01N25/72 G02F1/1309 H04N5/33

    Abstract: 本发明所涉及的缺陷检查装置用于检测形成于面板的配线的缺陷位置,具备:探测器,其对上述配线的端子部施加电压;探测器移动机构,其使上述探测器移动到上述端子部;第一红外传感器,其拍摄上述面板的整个面;第二红外传感器,其拍摄上述面板的局部;以及传感器移动机构,其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置,上述第一红外传感器包括多个红外照相机。

    光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置

    公开(公告)号:CN101794595B

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201010120076.X

    申请日:2010-01-25

    Abstract: 本发明是关于光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置的,目的在于提供可对利用差分推挽法的跟踪控制方式的光拾取器进行高精度的检查的检查装置及检查方法。光学拾取器(101)的检查装置(11)使物镜在光盘(106)的半径方向上进行反复变位,使用在此期间得到的差分推挽信号来判定衍射光栅的配置是否良好。具体而言,检查装置(11)的波形提取部(30)从差分推挽信号进行了数字变换后的时间序列数据中提取出上下包线。极值算出部(40)对提取出的上下包线的差的波形来算出多个极小值。判定部(50)根据所算出的多个极小值的偏差是否在预定范围内,来判定衍射光栅的配置是否良好。

    缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号:CN103620482B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201280029756.8

    申请日:2012-05-18

    Inventor: 柳濑正和

    CPC classification number: G01N21/8803 G01N25/72 G02F1/1309 H04N5/33

    Abstract: 本发明所涉及的缺陷检查装置用于检测形成于面板的配线的缺陷位置,具备:探测器,其对上述配线的端子部施加电压;探测器移动机构,其使上述探测器移动到上述端子部;第一红外传感器,其拍摄上述面板的整个面;第二红外传感器,其拍摄上述面板的局部;以及传感器移动机构,其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置,上述第一红外传感器包括多个红外照相机。

    光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置

    公开(公告)号:CN101794595A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010120076.X

    申请日:2010-01-25

    Abstract: 本发明是关于光拾取器的检查装置及检查方法以及光拾取器的自动调整装置的,目的在于提供可对利用差分推挽法的跟踪控制方式的光拾取器进行高精度的检查的检查装置及检查方法。光学拾取器(101)的检查装置(11)使物镜在光盘(106)的半径方向上进行反复变位,使用在此期间得到的差分推挽信号来判定衍射光栅的配置是否良好。具体而言,检查装置(11)的波形提取部(30)从差分推挽信号进行了数字变换后的时间序列数据中提取出上下包线。极值算出部(40)对提取出的上下包线的差的波形来算出多个极小值。判定部(50)根据所算出的多个极小值的偏差是否在预定范围内,来判定衍射光栅的配置是否良好。

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