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公开(公告)号:CN1920120A
公开(公告)日:2007-02-28
申请号:CN200610111005.7
申请日:2003-06-24
Abstract: 为了得到能够通过扩大生产规模极大地增加制造效率和显著地降低每单位面积的生产成本的薄板制造方法和制造这种薄板的装置,提供了本发明的方法和装置,当通过将基片的表层部分浸渍到在主室(1)中设置的坩埚(2)中的硅熔融液(7)中使得硅(5)附着于基片的表面时,通过使用至少一个与主室相邻(1)的副室(3、4)将基片装入到主室中和将基片从主室取出。
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公开(公告)号:CN1295753C
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN02815624.2
申请日:2002-08-02
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/208 , H01L21/68 , H01L31/04
CPC classification number: H01L31/1804 , H01L21/6715 , H01L21/677 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种薄片制造设备,用来将衬底传送机构(1)固定的衬底浸入熔料流体中在衬底表面上形成薄片,还涉及薄片制造方法和一种使用这种薄片的太阳能电池,所安装的衬底传送机构(1)能够沿着水平移动轴(8)在水平方向上移动,而所安装的水平移动轴(8)能够沿着垂直移动轴(9)移动。另外,衬底传送机构(1)包括一种能够在对角线上倾斜衬底(2)的装置或者一种能够连接/分离衬底的装置,因此能够提供平型薄片,并且能够优化这样得到的薄片形状。
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公开(公告)号:CN1541407A
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN02815624.2
申请日:2002-08-02
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/208 , H01L21/68 , H01L31/04
CPC classification number: H01L31/1804 , H01L21/6715 , H01L21/677 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种薄片制造设备,用来将衬底传送机构(1)固定的衬底浸入熔料流体中在衬底表面上形成薄片,还涉及薄片制造方法和一种使用这种薄片的太阳能电池,所安装的衬底传送机构(1)能够沿着水平移动轴(8)在水平方向上移动,而所安装的水平移动轴(8)能够沿着垂直移动轴(9)移动。另外,衬底传送机构(1)包括一种能够在对角线上倾斜衬底(2)的装置或者一种能够连接/分离衬底的装置,因此能够提供平型薄片,并且能够优化这样得到的薄片形状。
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公开(公告)号:CN1324657C
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN03815345.9
申请日:2003-06-24
IPC: H01L21/302 , C30B28/04
Abstract: 为了得到能够通过扩大生产规模极大地增加制造效率和显著地降低每单位面积的生产成本的薄板制造方法和制造这种薄板的装置,提供了本发明的方法和装置,当通过将基片的表层部分浸渍到在主室(1)中设置的坩埚(2)中的硅熔融液(7)中使得硅(5)附着于基片的表面时,通过使用至少一个与主室相邻(1)的副室(3、4)将基片装入到主室中和将基片从主室取出。
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公开(公告)号:CN1665968A
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN03815345.9
申请日:2003-06-24
Abstract: 为了得到能够通过扩大生产规模极大地增加制造效率和显著地降低每单位面积的生产成本的薄板制造方法和制造这种薄板的装置,提供了本发明的方法和装置,当通过将基片的表层部分浸渍到在主室(1)中设置的坩埚(2)中的硅熔融液(7)中使得硅(5)附着于基片的表面时,通过使用至少一个与主室相邻(1)的副室(3、4)将基片装入到主室中和将基片从主室取出。
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