公开(公告)号：CN104098065A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410145511.2

申请日：2014-04-11

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·T·布里格哈姆 ,  C·V·加尼斯 ,  C·E·卢斯 ,  J·C·马林格 ,  W·J·墨菲 ,  A·K·斯坦珀 ,  E·J·怀特

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  G06F17/50

CPC classification number: B81C1/0015 ,  B81B3/0021 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2207/09 ,  B81C1/00047 ,  B81C1/00269 ,  B81C1/00365 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00936 ,  B81C2201/0104 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0121 ,  B81C2201/0125 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0176 ,  B81C2201/0181 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0145 ,  B81C2203/0714 ,  G06F17/5009

Abstract: 本发明公开微电子机械系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。该方法包括：通过使至少在微电子机械系统（MEMS）梁之上和之下的钨材料和半导体材料两者排出以在MEMS梁之上形成上腔体结构和在MEMS梁之下形成下腔体结构，来形成MEMS梁结构。