公开(公告)号：CN102998479A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210593373.5

申请日：2012-12-31

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  施云波 ,  周真 ,  罗毅 ,  孙奇 ,  南慧杰

IPC: G01P5/10 ,  G01P13/02 ,  B81C1/00

Abstract: 氮化铝基集成阵列结构的二维风速风向传感器及其制造方法，涉及一种测量风速风向传感器及其制造方法。本发明解决了集成热温差原理的风速传感器采用硅基衬底工艺复杂、开发成本较高、传感器响应速率慢、机械性能差等缺点。本发明所述风速风向传感器由八边形氮化铝陶瓷基片、四个温度探测器、四个矩形热隔离槽、四对等腰直角三角形热隔离通孔、两个温度传感器、四个矩形热隔离通孔和一个中间蛇盘形加热器组成，制作该风速风向传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明用于测量风速风向。

公开(公告)号：CN102998479B

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201210593373.5

申请日：2012-12-31

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  施云波 ,  周真 ,  罗毅 ,  孙奇 ,  南慧杰

IPC: G01P5/10 ,  G01P13/02 ,  B81C1/00

Abstract: 氮化铝基集成阵列结构的二维风速风向传感器及其制造方法，涉及一种测量风速风向传感器及其制造方法。本发明解决了集成热温差原理的风速传感器采用硅基衬底工艺复杂、开发成本较高、传感器响应速率慢、机械性能差等缺点。本发明所述风速风向传感器由八边形氮化铝陶瓷基片、四个温度探测器、四个矩形热隔离槽、四对等腰直角三角形热隔离通孔、两个温度传感器、四个矩形热隔离通孔和一个中间蛇盘形加热器组成，制作该风速风向传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明用于测量风速风向。