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公开(公告)号：CN102071455B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201010589296.7
申请日：2010-12-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。一种水冷装置，具体涉及一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。本发明为了解决在定向凝固多晶硅时，现有装置预热不佳、轴向传热不好，传热速率不均匀而造成硅锭断裂的问题。本发明包括石墨预热器和两根水管，还包括水冷底座主体，所述水冷底座主体的上端面中部开有连接凹槽，所述水冷底座主体的下部开有方框状水循环通道，且方框状水循环通道位于连接凹槽的下方，两根水管并排设置在水冷底座主体的下端面上，且每根水管均与方框状水循环通道连通，所述石墨预热器的底部插装在连接凹槽内，石墨预热器的底部与连接凹槽通过螺纹连接。本发明安装在定向凝固装置内，用于定向凝固多晶硅。
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公开(公告)号：CN102021645B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010609932.8
申请日：2010-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备方法，它涉及一种多晶硅锭生产方法，以解决现有多晶硅锭的制备主要是在陶瓷或石墨套筒中进行，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭的纯度低的问题。方法：一、先漏入石墨底座上25g颗粒硅；二、抽真空；三、向真空室充入氩气；四、利用感应线圈使冷坩埚内的颗粒硅熔化；五、向冷坩埚内加入颗粒硅，形成颗粒硅熔体驼峰后，停止步进电机，保温8min；六、驱动拉杆向下运动，启动步进电机，使石墨管中的颗粒硅向冷坩埚内加料，冷却器为熔化的颗粒硅提供强冷，使熔化的颗粒硅形成具有定向凝固组织的柱状晶；七、将柱状晶硅锭的多晶层加工去除后即为具有定向凝固组织多晶硅锭。本发明用于制备多晶硅锭。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102108548A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010609762.3
申请日：2010-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚，它涉及一种方形电磁冷坩埚。本发明为了解决现有电磁冷坩埚由于内腔尺寸较小，导致坩埚损耗过大，新形成的硅锭容易卡在坩埚腔内，连续熔化过程容易终止，且电磁力过于集中，组织控制效果不好的问题。本发明包括坩埚主体、进水管、出水管、若干个细水管和感应线圈，坩埚主体由上半体和下半体组成，感应线圈套在上半体上，坩埚主体的横截面为方环状的空腔体，上半体分割成十六个截面为花瓣状的柱体，下半体的底面上与截面为花瓣状的柱体的通孔对应位置开有纵向盲孔，每个盲孔与出水管连通。本发明用于连续熔化与组织控制多晶硅颗粒。
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公开(公告)号：CN102021645A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010609932.8
申请日：2010-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备方法，它涉及一种多晶硅锭生产方法，以解决现有多晶硅锭的制备主要是在陶瓷或石墨套筒中进行，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭的纯度低的问题。方法：一、先漏入石墨底座上25g颗粒硅；二、抽真空；三、向真空室充入氩气；四、利用感应线圈使冷坩埚内的颗粒硅熔化；五、向冷坩埚内加入颗粒硅，形成颗粒硅熔体驼峰后，停止步进电机，保温8min；六、驱动拉杆向下运动，启动步进电机，使石墨管中的颗粒硅向冷坩埚内加料，冷却器为熔化的颗粒硅提供强冷，使熔化的颗粒硅形成具有定向凝固组织的柱状晶；七、将柱状晶硅锭的多晶层加工去除后即为具有定向凝固组织多晶硅锭。本发明用于制备多晶硅锭。
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公开(公告)号：CN102094233B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010609909.9
申请日：2010-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置，它涉及一种多晶硅锭的制备装置，以解决现有多晶硅锭的制备是在陶瓷或石墨套筒中，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上，拉杆设置在冷却器中，拉杆与伺服电机连接，拉杆与石墨底座连接，石墨底座设置在冷坩埚中，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状出水管连通，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状进水管连通，进水接管的一端与方环状进水管连接，感应线圈缠绕在冷坩埚的外壁上，石墨管的出口与冷坩埚的内腔正对，聚料斗设置在石墨管上，壳体上的出口与聚料斗正对，螺杆设置在壳体上，料斗安在壳体进料口处。本发明用于制备多晶硅锭。
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公开(公告)号：CN102094233A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010609909.9
申请日：2010-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置，它涉及一种多晶硅锭的制备装置，以解决现有多晶硅锭的制备是在陶瓷或石墨套筒中，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上，拉杆设置在冷却器中，拉杆与伺服电机连接，拉杆与石墨底座连接，石墨底座设置在冷坩埚中，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状出水管连通，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状进水管连通，进水接管的一端与方环状进水管连接，感应线圈缠绕在冷坩埚的外壁上，石墨管的出口与冷坩埚的内腔正对，聚料斗设置在石墨管上，壳体上的出口与聚料斗正对，螺杆设置在壳体上，料斗安在壳体进料口处。本发明用于制备多晶硅锭。
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公开(公告)号：CN102071455A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010589296.7
申请日：2010-12-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。一种水冷装置，具体涉及一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。本发明为了解决在定向凝固多晶硅时，现有装置预热不佳、轴向传热不好，传热速率不均匀而造成硅锭断裂的问题。本发明包括石墨预热器和两根水管，还包括水冷底座主体，所述水冷底座主体的上端面中部开有连接凹槽，所述水冷底座主体的下部开有方框状水循环通道，且方框状水循环通道位于连接凹槽的下方，两根水管并排设置在水冷底座主体的下端面上，且每根水管均与方框状水循环通道连通，所述石墨预热器的底部插装在连接凹槽内。本发明安装在定向凝固装置内，用于定向凝固多晶硅。
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