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发明公开
一种干涉线光谱共焦测量结构审中-实审

公开(公告)号：CN119509382A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411623052.4

申请日：2024-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王伟波 , 张志强 , 吴必伟 , 蔡宇翔 , 刘可心

IPC: G01B11/06 , G01B11/02 , G01B9/02015

Abstract: 本发明提供了一种干涉线光谱共焦测量结构，包括线光源、分光棱镜、色散棱镜、色散物镜、光谱解调模块，所述线光源用于产生条形窄光源，所述分光棱镜为偏振不敏感棱镜，将条形光源等分到两个互相垂直光路，条形光随后被所述色散棱镜进行轴外色散，并被所述色散物镜进行轴向色散，最终形成垂直于水平的照射面，两个光路的照明面互相干涉增强，并再次沿着对称的光路返回并进入所述的光谱解调系统，光谱解调系统由所述色散棱镜及色散物镜组成，可实现高度与位置的高度线性，同时，该装置可对探测信号宽度进行高度压缩，可同时提高装置的测量精度和重复性。

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