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公开(公告)号：CN104359419B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410617213.9
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 差动结构光大曲率样品微观形貌测量膜厚校正装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、第一二向色镜、物镜、样品、第二二向色镜、第一滤光片、第二管镜、第一制冷CCD、第二滤光片、第三管镜、第二制冷CCD、载物台。每个被测平面光栅做三次相位平移，每个相位处，使样品表面出射的信号通过滤光片，取第一制冷CCD和第二制冷CCD收集信号之差。解调运算可以得到荧光膜上表面和样品表面两层结构信息，取下面一层信息即测得微观光滑曲率样品的表面形貌信息。
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公开(公告)号：CN108875124B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201810385126.3
申请日：2018-04-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/20
Abstract: 本发明公开了一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，首先根据理想点散射体建立高斯目标峰值模型，然后判断是否存在一个3×3邻域内存在曲线峰值，若是，以3×3邻域为单位依次进行纵向扫描来获得峰值的高度以及进行横向扫描获得峰值的轴向位移，从而确定曲线峰值位置的具体信息，本发明公开的一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，可以提高提取共焦轴向响应曲线峰值位置的准确度，使其具有极佳的提取精度。
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公开(公告)号：CN104296683B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410616939.0
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、镀在样品表面的电致发光薄膜、正负微电极、物镜、滤光片、管镜、CCD、电致发光膜照明部分、光学成像测量部分，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光分别点亮样品表面的奇偶条纹来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，可以测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
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公开(公告)号：CN104359419A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410617213.9
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 差动结构光大曲率样品微观形貌测量膜厚校正装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、第一二向色镜、物镜、样品、第二二向色镜、第一滤光片、第二管镜、第一制冷CCD、第二滤光片、第三管镜、第二制冷CCD、载物台。每个被测平面光栅做三次相位平移，每个相位处，使样品表面出射的信号通过滤光片，取第一制冷CCD和第二制冷CCD收集信号之差。解调运算可以得到荧光膜上表面和样品表面两层结构信息，取下面一层信息即测得微观光滑曲率样品的表面形貌信息。
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公开(公告)号：CN104315994A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410616948.X
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法属于共焦扫描光学测量技术领域；该方法首先归一化数据，从实测数据中选取有效数据；然后以sinc2(a(x-b))函数为目标函数，根据测量参数计算目标参数初值；再以sinc2(a(x-b))函数为目标函数，利用Levenberg-Marquardt算法进行拟合求得目标参数；最后根据目标参数计算峰值位置；本发明共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法，通过使用sinc2作为拟合的目标函数来获得共焦轴向相应曲线峰值位置，可以提高数据利用率与测量不确定度，同时减少迭代次数，减少了提取算法的运算时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104296683A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410616939.0
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、镀在样品表面的电致发光薄膜、正负微电极、物镜、滤光片、管镜、CCD、电致发光膜照明部分、光学成像测量部分，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光分别点亮样品表面的奇偶条纹来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，可以测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
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公开(公告)号：CN108875124A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810385126.3
申请日：2018-04-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，首先根据理想点散射体建立高斯目标峰值模型，然后判断是否存在一个3×3邻域内存在曲线峰值，若是，以3×3邻域为单位依次进行纵向扫描来获得峰值的高度以及进行横向扫描获得峰值的轴向位移，从而确定曲线峰值位置的具体信息，本发明公开的一种提取共焦轴向响应曲线峰值位置的极大值补偿算法，可以提高提取共焦轴向响应曲线峰值位置的准确度，使其具有极佳的提取精度。
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公开(公告)号：CN104315993B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410616937.1
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、电致发光薄膜和正负微电极、物镜、滤光片、管镜、分光镜、第一CCD、第二CCD、光学成像测量部分组成，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，使用第一CCD、第二CCD进行差动探测，可以提高系统信噪比，从而测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
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公开(公告)号：CN104361226A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410617214.3
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F19/00
Abstract: 共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法属于共焦扫描光学测量技术领域；该方法首先归一化数据，从实测数据中选取有效数据；然后以sinc4(a(x-b))函数为目标函数，根据测量参数计算目标参数初值；再以sinc4(a(x-b))函数为目标函数，利用Levenberg-Marquardt算法进行拟合求得目标参数；最后根据目标参数计算峰值位置；本发明共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法，通过使用sinc4作为拟合的目标函数来获得共焦轴向相应曲线峰值位置，可以提高数据利用率与测量不确定度，同时减少迭代次数，减少了提取算法的运算时间。
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公开(公告)号：CN104315993A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410616937.1
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、电致发光薄膜和正负微电极、物镜、滤光片、管镜、分光镜、第一CCD、第二CCD、光学成像测量部分组成，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，使用第一CCD、第二CCD进行差动探测，可以提高系统信噪比，从而测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
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