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公开(公告)号:CN110181334B
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201910463125.0
申请日:2019-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置及其检测方法,属于自由曲面光学元件超精密加工技术领域,本发明为解决现有自由曲面光学元件面形误差检测装置采用离线检测方式导致精度低、效率差的问题。基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置,X轴和Z轴为水平面上的两个轴,Y轴为垂直于水平面的纵向轴,旋转轴安装在Y轴移动台上,旋转轴上安装有真空吸盘,待测自由曲面光学元件安装在真空吸盘上,白光共焦测头通过夹具安装在Z轴移动台上,白光共焦测头的出射光平行于Z轴移动台,且出射光穿过旋转轴的中心线,白光共焦测头的检测数据经由控制器传输至机床工控机。本发明用于对自由曲面光学元件进行检测。
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公开(公告)号:CN109807720B
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN201910239512.6
申请日:2019-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微透镜阵列光学元件的范成式加工方法,涉及一种范成式加工方法。本发明解决了现有的微透镜阵列加工方法存在刀具磨损、材料受限和面型精度差的问题。本发明选择半径大于微透镜球径Rs的V形砂轮并修整;使V形砂轮沿机床Z轴负向的尖点正好与机床C轴中心线重合;采用范成式方法加工在工件中心位置的微透镜P0,设定V形砂轮转速为Ng、进给速度为Vf,使V形砂轮沿着机床Z轴负向进给,直至在工件上产生深度为ap的磨痕,然后机床Z轴停止进给,保持不动,机床C轴以转速Nw顺时针旋转360°,Z轴正向退刀;采用范成式方法加工任意一个非工件中心位置的微透镜Pm;依次进行加工,形成微透镜阵列光学元件。本发明用于微透镜阵列光学元件的加工。
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公开(公告)号:CN110405227A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910731218.7
申请日:2019-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B1/00
Abstract: 一种用于离轴微透镜加工的定点旋转切削方法,它涉及一种定点旋转切削方法。本发明为了解决现有补偿刀尖圆弧半径时给机床运动平稳性带来不利影响的高频运动从而降低微透镜加工精度的问题,以及切削轨迹规划困难的问题。本发明的步骤一:调整工件回转中心轴线与超精密机床主轴轴线的距离,并控制在0.5μm以内;步骤二:采用试切法使得刀具的刀尖与工件回转中心轴线的径向距离控制在0.5μm以内;步骤三:机床联动控制使刀尖移动至待加工微透镜零件的某一微透镜单元的中心轴线位置;步骤四:规划实际切削轨迹;步骤五:机床联动实现单个微透镜单元的切削加工;步骤六,重复步骤三至五直至加工完表面上所有的微透镜单元。本发明用于离轴微透镜加工。
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公开(公告)号:CN105127902A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201510415852.1
申请日:2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B49/12
CPC classification number: B24B49/12
Abstract: 砂轮表面微观三维形貌的在机测量方法,属于磨削加工的测量装置领域。解决了现有砂轮表面形貌测量技术无法实现在机测量、无法精确测量完整砂轮表面形貌的问题。首先,将一维激光位移传感器放置在被测砂轮正下方,使一维激光位移传感器输出的激光束照射方向与被测砂轮的圆周表面垂直,且与被测砂轮的主轴中心线垂直相交;被测砂轮以100rpm的速度转动,同时一维激光位移传感器在被测砂轮轴向的两个端面之间以0.8mm/min的速度沿轴向平移,一维激光位移传感器将采集的数据信息依次通过激光测微仪控制器和数据采集卡实时的送至工控机,工控机对接收的数据信号进行处理,从而实现对被测砂轮完整表面形貌的测量。它用于测量砂轮三维形貌。
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公开(公告)号:CN110405227B
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201910731218.7
申请日:2019-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B1/00
Abstract: 一种用于离轴微透镜加工的定点旋转切削方法,它涉及一种定点旋转切削方法。本发明为了解决现有补偿刀尖圆弧半径时给机床运动平稳性带来不利影响的高频运动从而降低微透镜加工精度的问题,以及切削轨迹规划困难的问题。本发明的步骤一:调整工件回转中心轴线与超精密机床主轴轴线的距离,并控制在0.5μm以内;步骤二:采用试切法使得刀具的刀尖与工件回转中心轴线的径向距离控制在0.5μm以内;步骤三:机床联动控制使刀尖移动至待加工微透镜零件的某一微透镜单元的中心轴线位置;步骤四:规划切削轨迹;步骤五:机床联动实现单个微透镜单元的切削加工;步骤六,重复步骤三至五直至加工完表面上所有的微透镜单元。本发明用于离轴微透镜加工。
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公开(公告)号:CN105127902B
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:CN201510415852.1
申请日:2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B49/12
Abstract: 砂轮表面微观三维形貌的在机测量方法,属于磨削加工的测量装置领域。解决了现有砂轮表面形貌测量技术无法实现在机测量、无法精确测量完整砂轮表面形貌的问题。首先,将一维激光位移传感器放置在被测砂轮正下方,使一维激光位移传感器输出的激光束照射方向与被测砂轮的圆周表面垂直,且与被测砂轮的主轴中心线垂直相交;被测砂轮以100rpm的速度转动,同时一维激光位移传感器在被测砂轮轴向的两个端面之间以0.8mm/min的速度沿轴向平移,一维激光位移传感器将采集的数据信息依次通过激光测微仪控制器和数据采集卡实时的送至工控机,工控机对接收的数据信号进行处理,从而实现对被测砂轮完整表面形貌的测量。它用于测量砂轮三维形貌。
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公开(公告)号:CN110480453B
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN201910900074.3
申请日:2019-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B13/005 , B24B13/00
Abstract: 一种大深径比薄壁管元件的超精密表面加工装夹装置及装夹方法,它涉及一种装夹装置及装夹方法,具体涉及一种大深径比薄壁管元件的超精密表面加工装夹装置及装夹方法。本发明为了解决大深径比薄壁管状结构元件超精密加工时装夹装置对加工质量影响的问题。本发明包括外表面加工夹具体和内面表面加工夹具体。本发明属于机械加工领域。
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公开(公告)号:CN110480453A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910900074.3
申请日:2019-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B13/005 , B24B13/00
Abstract: 一种大深径比薄壁管元件的超精密表面加工装夹装置及装夹方法,它涉及一种装夹装置及装夹方法,具体涉及一种大深径比薄壁管元件的超精密表面加工装夹装置及装夹方法。本发明为了解决大深径比薄壁管状结构元件超精密加工时装夹装置对加工质量影响的问题。本发明包括外表面加工夹具体和内面表面加工夹具体。本发明属于机械加工领域。
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公开(公告)号:CN110181334A
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201910463125.0
申请日:2019-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置及其检测方法,属于自由曲面光学元件超精密加工技术领域,本发明为解决现有自由曲面光学元件面形误差检测装置采用离线检测方式导致精度低、效率差的问题。基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置,X轴和Z轴为水平面上的两个轴,Y轴为垂直于水平面的纵向轴,旋转轴安装在Y轴移动台上,旋转轴上安装有真空吸盘,待测自由曲面光学元件安装在真空吸盘上,白光共焦测头通过夹具安装在Z轴移动台上,白光共焦测头的出射光平行于Z轴移动台,且出射光穿过旋转轴的中心线,白光共焦测头的检测数据经由控制器传输至机床工控机。本发明用于对自由曲面光学元件进行检测。
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公开(公告)号:CN109807720A
公开(公告)日:2019-05-28
申请号:CN201910239512.6
申请日:2019-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微透镜阵列光学元件的范成式加工方法,涉及一种范成式加工方法。本发明解决了现有的微透镜阵列加工方法存在刀具磨损、材料受限和面型精度差的问题。本发明选择半径大于微透镜球径Rs的V形砂轮并修整;使V形砂轮沿机床Z轴负向的尖点正好与机床C轴中心线重合;采用范成式方法加工在工件中心位置的微透镜P0,设定V形砂轮转速为Ng、进给速度为Vf,使V形砂轮沿着机床Z轴负向进给,直至在工件上产生深度为ap的磨痕,然后机床Z轴停止进给,保持不动,机床C轴以转速Nw顺时针旋转360°,Z轴正向退刀;采用范成式方法加工任意一个非工件中心位置的微透镜Pm;依次进行加工,形成微透镜阵列光学元件。本发明用于微透镜阵列光学元件的加工。
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