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公开(公告)号：CN103236429A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177041.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOSIC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOSIC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103236429B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310177041.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOS IC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOS IC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
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公开(公告)号：CN103308569B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310281175.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。
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公开(公告)号：CN103018485A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210511274.8
申请日：2012-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。
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公开(公告)号：CN103018485B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210511274.8
申请日：2012-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。
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公开(公告)号：CN103308569A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310281175.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。
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