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公开(公告)号:CN116352510B
公开(公告)日:2025-04-29
申请号:CN202310255905.2
申请日:2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于导轨电机电流信号的金刚石刀具特征识别方法,涉及一种金刚石刀具加工方法。已完成单晶金刚石毛坯焊接的金刚石刀具固定在刀架上,设定的圆弧中心与回转工作台中心重合;进给导轨带动刀尖接触砂轮盘,回转工作台往复摆动;进给导轨向前进给完成粗磨;进给导轨以恒定的速率进给,回转工作台匀速摆动,采集导轨电机的电流信号;处理得到回转工作台往复摆动一个周期内刀具对应的电流信号,将圆弧刃上各点的特征量化表示,根据特征信号值设置研磨压力和研磨速度;进行精磨工作。通过对导轨电机电流信号的采集和分析,获取圆弧刃上各点的特征信号,各点软硬程度量化表示,无需金刚石晶体定向,提高刀具的加工效率和精度。
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公开(公告)号:CN119511940A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411664238.4
申请日:2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 基于Power PMAC系列控制器的超精密机床EtherCAT总线型控制方法,属于超精密装备制造领域。所述方法是:将一组Triamec驱动器与超精密机床运动轴相连接;其中:每个运动轴电机动力线与相对应的Triamec驱动器的动力接口相连接,对应电机光栅的反馈线与相对应的Triamec驱动器的反馈接口相连接;通过网线依次连接Power PMAC系列控制器、Triamec驱动器和倍福IO模块;Power PMAC系列控制器包括CK3M、CK5M、CK3E和Power UMAC,使用时择一选择;将Power PMAC系列控制器、Triamec驱动器和倍福IO模块分别与电源电性连接;调试Triamec驱动器和运动轴;将Triamec驱动器的独立运行模式修改为总线模式并通过Power PMAC IDE调节控制器;通过Power PMAC IDE调试向导或编写脚本文件配置控制器、驱动器和倍福IO模块,用以实现超精密机床的高精度单轴运动或多轴联动。
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公开(公告)号:CN105115467B
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201510508089.7
申请日:2015-08-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种适合于精确评价金刚石玻式压头尖端曲率半径的方法,其步骤如下:一、建立金刚石玻氏压头的三维模型,根据此模型推导精确描述压头的面积函数;二、用步骤一推导出的面积函数直接拟合AFM测量数据即可得到精确的压头尖端钝圆半径。本发明所建立的金刚石玻式压头模型考虑了压头各棱边的钝圆半径,推导的新面积函数能更好地拟合压头的真实三维形貌。本发明测量与评价高精度金刚石玻氏压头钝圆半径简单快捷并且受人为因素影响小,拟合评价压头尖端曲率半径精度较高,可以更真实地反映金刚石玻式压头的几何形貌。
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公开(公告)号:CN104681103B
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201510108120.8
申请日:2015-03-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 亚微米级精密升降装置,属于微位移技术领域。具有高灵敏度和灵活性,结构简单、调整方便、能够达到亚微米级精度,且成本低廉。基座上固定有导杆锁紧支架及与X向滚动导轨滑块滑动连接的X向滚动导轨一,基座的安装孔内装有滚珠导套,导杆锁紧支架内固定有导杆锁紧套环,X向滑块与X向滚动导轨滑块一和滑块连接板固接,X向滑块与滚针导向器连接;与X向滚动导轨滑块二滑动连接的X向滚动导轨二与Z向滑块固接,X向滚动导轨滑块二与滑块连接板固接,Z向滑块与升降导杆固接,升降导杆与滚珠导套和导杆锁紧套环相配合;微分头通过安装在微分头支座内的微分头锁紧套环锁紧,微分头通过联轴器与滚针导向器相连。本发明用于亚微米级升降场合。
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公开(公告)号:CN105115467A
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201510508089.7
申请日:2015-08-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种适合于精确评价金刚石玻式压头尖端曲率半径的方法,其步骤如下:一、建立金刚石玻氏压头的三维模型,根据此模型推导精确描述压头的面积函数;二、用步骤一推导出的面积函数直接拟合AFM测量数据即可得到精确的压头尖端钝圆半径。本发明所建立的金刚石玻式压头模型考虑了压头各棱边的钝圆半径,推导的新面积函数能更好地拟合压头的真实三维形貌。本发明测量与评价高精度金刚石玻氏压头钝圆半径简单快捷并且受人为因素影响小,拟合评价压头尖端曲率半径精度较高,可以更真实地反映金刚石玻式压头的几何形貌。
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公开(公告)号:CN103616394B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201310672397.4
申请日:2013-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N23/207 , G01N21/84
Abstract: 一种确定金刚石研磨晶向的方法,属于超精密机械加工技术领域。所述方法:(1)研磨单晶金刚石晶体得到一个研磨面,与需要研磨加工的晶面相交形成一条棱;(2)测定所得研磨面的晶面指数;(3)测定需要研磨加工表面的晶面指数;(4)测定需要加工的表面上因加工留下的沟槽与步骤(1)中的棱之间的夹角;(5)依据步骤(2)至步骤(4)所测数据经计算得到研磨方向的具体晶向指数或方向。本发明通过预先提供一个研磨面与需要研磨加工表面形成的一条棱作为参考晶向的办法,只需要对晶面晶向做初始的标定,就可以在后续的研磨加工中采用激光共聚焦显微镜测量出具体研磨方向的表征参数,不需要记录金刚石工件放置的空间位置和姿态,方便快捷。
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公开(公告)号:CN103481124B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201310426422.0
申请日:2013-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B3/00
Abstract: 一种基于复杂轨迹的金刚石研磨方法,属于超精密切削加工技术领域,涉及一种金刚石研磨方法。所述方法包括如下步骤:(1)设置适当的研磨机构尺寸;(2)计算金刚石工件研磨的放置位置;(3)检验计算得到的放置位置是否可以保证研磨过程中金刚石工件始终与砂轮盘接触而不脱离,若不能保证则返回步骤(2),若能够保证则继续下一步;(4)采用优化算法使得研磨速度的方向最大程度的在研磨平面内做360度的均匀变化,由此计算得到研磨机构各个轴的转速,用所计算的转速对金刚石工件表面进行研磨加工。本发明不需要寻找金刚石工件的易磨方向,且能够磨出较低的表面粗糙度值,Ra值可达约1nm。
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公开(公告)号:CN104681103A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201510108120.8
申请日:2015-03-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 亚微米级精密升降装置,属于微位移技术领域。具有高灵敏度和灵活性,结构简单、调整方便、能够达到亚微米级精度,且成本低廉。基座上固定有导杆锁紧支架及与X向滚动导轨滑块滑动连接的X向滚动导轨一,基座的安装孔内装有滚珠导套,导杆锁紧支架内固定有导杆锁紧套环,X向滑块与X向滚动导轨滑块一和滑块连接板固接,X向滑块与滚针导向器连接;与X向滚动导轨滑块二滑动连接的X向滚动导轨二与Z向滑块固接,X向滚动导轨滑块二与滑块连接板固接,Z向滑块与升降导杆固接,升降导杆与滚珠导套和导杆锁紧套环相配合;微分头通过安装在微分头支座内的微分头锁紧套环锁紧,微分头通过联轴器与滚针导向器相连。本发明用于亚微米级升降场合。
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公开(公告)号:CN104625765A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201410739115.2
申请日:2014-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: B23Q1/38
Abstract: 本发明提供了一种高精度微小型空气静压转台。本发明解决了目前常用的高精度微小型空气静压转台组成零件较多,不易实现特别高的精度要求和动平衡,并且整体系统的体积较大,特别是高度尺寸较大的问题;解决了由通常所采用的降低转台整体高度的方式所造成的低稳定性以及低承受倾覆力矩的能力的问题;解决了转台加工生产过程中需加工多个轴套与轴的工作面所造成生产成本问题。它包括:转台机座、锥形气浮轴套、主轴系统和转台电机。本发明在转台生产过程中所需加工的轴套与轴工作面仅为相应的两个锥面,相比于以往的高精度空气静压转台有所减少,降低了生产成本。具有装配简单、精度保持性好等优点,可用于多种加工形式的精密和超精密加工设备上。
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公开(公告)号:CN103551864A
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN201310536636.3
申请日:2013-11-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/26
CPC classification number: B23Q15/22
Abstract: 本发明提供了一种高刚度高分辨率精密升降装置,属于升降装置技术领域。本发明的基座端面固定有X向微分头,推动X向楔块沿X向燕尾槽导轨移动,通过相对运动以及Z向的燕尾槽导轨的限制作用把X方向的运动转换为Z方向的运动,工作台面上升,装置向上对刀。X、Z方向分别有一根拉伸弹簧,连接X向楔块—基座和Z向楔块—基座。在工作台面下降过程中,微分头返程移动,与X向楔块脱离,Z向拉伸弹簧将拉动Z向楔块向下移动,X向拉伸弹簧拉动X向楔块,使其重新与微分头接触。若工作台面处于理想工作位置,Z向紧钉螺钉拧紧,通过Z向镶条锁紧燕尾槽导轨,工作台保持稳定的Z向位置,对刀工作完成。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀。
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