集成电路微缺陷的锁相热成像层析表征系统与方法

    公开(公告)号:CN108416778A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810231062.1

    申请日:2018-03-20

    Abstract: 本发明公开了一种集成电路微缺陷的锁相热成像层析表征系统与方法,所述包括中波红外相机、数据采集卡、计算机、三维移动台和直流电源,其中:所述计算机控制数据采集卡控制直流电源触发并对集成电路样件进行幅值调制变化,使频率恒定的电流注入;所述计算机同时控制数据采集卡控制中波红外相机进行同步触发采集图像序列;所述中波红外相机采集的图像序列传送至计算机进行同步锁相处理,得到该频率下的幅值图和相位图,通过改变频率得到不同频率的幅值与相位图,利用计算机的锁相热成像层析软件得到集成电路样件的深度层析结果。本发明是一种具有信噪比高、无损伤、快速、直观、准确、探测面积大及效率高等优势的红外热波无损检测新方法。

    一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法

    公开(公告)号:CN109816654B

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN201910093863.0

    申请日:2019-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法,所述系统包括红外热像仪、数据采集卡、计算机、三维移动台、金属样件台、水冷散热板、真空吸附装置、样件夹具、水冷泵、真空泵和直流电源,其中:三维移动台上设置有红外热像仪和水冷散热板;水冷散热板上设置有金属样件台和真空吸附装置;水冷散热板与水冷泵相连;真空吸附装置与真空泵相连;金属样件台上设置有样件夹具;直流电源的正极与金属样件台相连,负极与样件夹具相连;红外热像仪分别与计算机和数据采集卡相连;数据采集卡分别与直流电源和计算机相连。本发明能对微缺陷进行精准表征,是一种直观、准确、大面积的检测方法。

    一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法

    公开(公告)号:CN109816654A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201910093863.0

    申请日:2019-01-30

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法,所述系统包括红外热像仪、数据采集卡、计算机、三维移动台、金属样件台、水冷散热板、真空吸附装置、样件夹具、水冷泵、真空泵和直流电源,其中:三维移动台上设置有红外热像仪和水冷散热板;水冷散热板上设置有金属样件台和真空吸附装置;水冷散热板与水冷泵相连;真空吸附装置与真空泵相连;金属样件台上设置有样件夹具;直流电源的正极与金属样件台相连,负极与样件夹具相连;红外热像仪分别与计算机和数据采集卡相连;数据采集卡分别与直流电源和计算机相连。本发明能对微缺陷进行精准表征,是一种直观、准确、大面积的检测方法。

    一种太阳能电池及光伏组件的电致锁相发光成像检测方法与系统

    公开(公告)号:CN107607517A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710847631.0

    申请日:2017-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池及光伏组件的电致锁相发光成像检测方法与系统,所述检测系统包括计算机、直流电源、带通滤波片、近红外相机、数据采集卡,其中:直流电源的正极输出线与被测样件的正极连接,负极输出线与被测样件的负极连接;带通滤波片设置在近红外相机镜头前;计算机控制数据采集卡产生调制信号,从而实现直流电源的驱动和近红外相机的同步触发,在直流电源电流强度按照调制变化输入被测样件的同时用近红外相机对图像序列进行同步采集;近红外相机采集的图像序列反馈至计算机,计算机将采集到的图像序列进行同步锁相运算和载流子辐射发光信号检测。本发明不受环境影响,同时具有信噪比高、无损伤、直观、探测面积大及效率高等优势。

    一种太阳能电池及光伏组件的串联电阻成像检测方法与系统

    公开(公告)号:CN107612505B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201710851139.0

    申请日:2017-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种一种太阳能电池及光伏组件的串联电阻成像检测方法与系统,所述检测系统包括近红外相机、数据采集卡、计算机、三维移动台、带通滤波片、激光器、光束整形扩束装置、无感电阻和继电器。为了克服传统光致发光方法检测工序复杂、检测时间长、信噪比低及暗室下操作带来的不足,本发明结合光致发光与锁相原理对太阳能电池及光伏组件进行串联电阻成像检测,不需要单独的短路状态成像,相比传统光致发光方法减少一道检测工序,同时利用锁相算法,具有信噪比高、无损伤、直观、探测面积大及效率高等优势,不受环境影响,白天自然光和夜晚均可对太阳能电池及光伏组件的串联电池成像进行检测,因此,在光伏领域具有潜在的应用前景。

    太阳能电池微缺陷的锁相热成像层析表征系统与方法

    公开(公告)号:CN108445012A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810231065.5

    申请日:2018-03-20

    CPC classification number: G01N21/8851 G01N2021/888 G01N2021/8887

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池微缺陷的锁相热成像层析表征系统与方法,所述系统包括短波红外相机、中波红外相机、数据采集卡、计算机、三维移动台、金属样件台、样件夹持装置和直流电源,所述计算机控制数据采集卡控制直流电源触发并对样件进行幅值调制变化,同时控制数据采集卡控制短波红外相机和中波红外相机进行同步触发采集图像序列;短波红外相机采集的图像传送至计算机,得到样件的缺陷横向分布及定位;中波红外相机采集的图像传送至计算机,得到该频率下的幅值图和相位图,通过改变频率得到不同频率的幅值与相位图,利用锁相热成像层析软件得到样件的深度层析结果。本发明是一种快速、大面积、直观及准确的红外热波无损检测新方法。

    一种太阳能电池及光伏组件的串联电阻成像检测方法与系统

    公开(公告)号:CN107612505A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710851139.0

    申请日:2017-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池及光伏组件的串联电阻成像检测方法与系统,所述检测系统包括近红外相机、数据采集卡、计算机、三维移动台、带通滤波片、激光器、光束整形扩束装置、无感电阻和继电器。为了克服传统光致发光方法检测工序复杂、检测时间长、信噪比低及暗室下操作带来的不足,本发明结合光致发光与锁相原理对太阳能电池及光伏组件进行串联电阻成像检测,不需要单独的短路状态成像,相比传统光致发光方法减少一道检测工序,同时利用锁相算法,具有信噪比高、无损伤、直观、探测面积大及效率高等优势,不受环境影响,白天自然光和夜晚均可对太阳能电池及光伏组件的串联电池成像进行检测,因此,在光伏领域具有潜在的应用前景。

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