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公开(公告)号：CN112987504B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202110154693.X
申请日：2021-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，属于光学技术领域。本发明提出了一个理论模型，该模型描述了聚焦校准信号的振幅，该信号是在基准光栅后面使用相敏检测测量的，作为对准光栅标记z位置的函数。本发明的焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，该方法的优点是可以通过对准测量系统自身测量性能对光栅标记z向位置进行精确确定，改变了以往需要通过光刻系统其他传感器进行z方向校准的情况。该方法对于对准测量系统焦点校准精度较高，可以达到亚纳米级别，并给出了算法支持，使得调节更加精准。
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公开(公告)号：CN112987504A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110154693.X
申请日：2021-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，属于光学技术领域。本发明提出了一个理论模型，该模型描述了聚焦校准信号的振幅，该信号是在基准光栅后面使用相敏检测测量的，作为对准光栅标记z位置的函数。本发明的焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，该方法的优点是可以通过对准测量系统自身测量性能对光栅标记z向位置进行精确确定，改变了以往需要通过光刻系统其他传感器进行z方向校准的情况。该方法对于对准测量系统焦点校准精度较高，可以达到亚纳米级别，并给出了算法支持，使得调节更加精准。
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公开(公告)号：CN111417251B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202010264982.0
申请日：2020-04-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种高温超导无磁扼多离子变能量回旋加速器高频腔体，包括半圆形外壳、半圆形加速电极Dee盒、粗调结构、细调结构和馈电结构，加速电极Dee盒设置在半圆形外壳内部，且电极Dee板的外周与半圆形外壳之间有间隙，粗调结构和细调结构分别位于半圆形外壳的两侧，粗调结构包括调谐杆，粗调圆筒和粗调短路片，细调结构包括细调圆筒和细调短路片，馈电结构为高频腔体传输高频能量，加速电极Dee盒提供离子加速电压，半圆形腔体外壳与电极的间隙提供离子加速高频电场，移动相应的短路片来调节高频腔体电磁场工作频率。本发明既可满足多离子变能量工作模式对频率调谐范围的要求，又可解决腔体频率调谐结构与磁铁线圈之间的干涉问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111385958A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN202010264501.6
申请日：2020-04-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H7/00
Abstract: 本发明提供了一种新型弧形斜边静电偏转板及粒子加速器斩波器，静电偏转板包括正电极板和负电极板，正电极板和负电极板均为圆弧形结构，且两者开口相对布置，正电极板和负电极板的圆弧形结构沿入射粒子束流运动的正交方向布置，电极板的圆弧度数为84°-124°，且两电极板的圆弧度数相同，圆弧形的正电极板和负电极板均以入射粒子束流的出口处为旋转中心相对水平面且均朝向远离粒子束流运动空间方向旋转0.5°至2.5°形成弧形斜边偏转板结构，且两电极板的旋转角度相同，粒子束流通过加电的弧形斜边偏转板结构形成的电场后，在出口处粒子束流的偏转角不小于10°。本发明在相同横向尺寸及中心出口尺寸条件下，提高了粒子束的偏转效果。
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公开(公告)号：CN111417251A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010264982.0
申请日：2020-04-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种高温超导无磁扼多离子变能量回旋加速器高频腔体，包括半圆形外壳、半圆形加速电极Dee盒、粗调结构、细调结构和馈电结构，加速电极Dee盒设置在半圆形外壳内部，且电极Dee板的外周与半圆形外壳之间有间隙，粗调结构和细调结构分别位于半圆形外壳的两侧，粗调结构包括调谐杆，粗调圆筒和粗调短路片，细调结构包括细调圆筒和细调短路片，馈电结构为高频腔体传输高频能量，加速电极Dee盒提供离子加速电压，半圆形腔体外壳与电极的间隙提供离子加速高频电场，移动相应的短路片来调节高频腔体电磁场工作频率。本发明既可满足多离子变能量工作模式对频率调谐范围的要求，又可解决腔体频率调谐结构与磁铁线圈之间的干涉问题。
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公开(公告)号：CN110273879B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201910599837.5
申请日：2019-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F15B13/04 , F15B21/0423 , F15B21/041 , F15B15/26
Abstract: 一种四杆型RFQ液压调谐系统及调谐杆锁死机构，它涉及一种液压调谐系统及锁死机构，具体涉及一种四杆型RFQ液压调谐系统及调谐杆锁死机构。本发明为了解决由于伺服电机加丝杠结构存在回程差问题，不能进行准确定位，导致调谐过程中会有多次往返运动，调谐速度较慢的问题。本发明所述液压调谐系统包括液压缸，本发明还包括油箱、第一液压泵、伺服阀和冷却组件，第一液压泵的进油口与油箱的出油口连接，第一液压泵的出油口通过伺服阀与液压缸进油口连接，液压缸的活塞带动调谐杆移动，液压缸的出油口通过伺服阀与油箱的进油口连接，油箱与所述冷却组件连接。本发明属于机械领域。
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公开(公告)号：CN111526656A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010264504.X
申请日：2020-04-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种电流控制超宽带回旋加速器高频腔体，包括上外壳、下外壳、加速电极Dee盒、铁氧体、调谐杆和馈电结构，上外壳和下外壳结构相同，且对称布置，上外壳和下外壳的一端连接，加速电极Dee盒设置在上外壳和下外壳之间的间隙处，加速电极Dee盒两侧与外壳之间均设有缝隙，在加速电极Dee盒的上下侧分别垂直连接一个调谐杆，且一根调谐杆设置在上外壳内，另一根调谐杆设置在下外壳内，调谐杆的末端与对应的外壳连接，在每个调谐杆的外表面均包裹铁氧体，铁氧体外接直流电流源，馈电结构由上下外壳连接端插入高频腔体内部。本发明利用铁氧体加载取代了体积庞大的圆筒形频率调谐结构，通过改变铁氧体材料的电流，实现超宽带调谐。
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公开(公告)号：CN110273879A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910599837.5
申请日：2019-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F15B13/04 , F15B21/0423 , F15B21/041 , F15B15/26
Abstract: 一种四杆型RFQ液压调谐系统及调谐杆锁死机构，它涉及一种液压调谐系统及锁死机构，具体涉及一种四杆型RFQ液压调谐系统及调谐杆锁死机构。本发明为了解决由于伺服电机加丝杠结构存在回程差问题，不能进行准确定位，导致调谐过程中会有多次往返运动，调谐速度较慢的问题。本发明所述液压调谐系统包括液压缸，本发明还包括油箱、第一液压泵、伺服阀和冷却组件，第一液压泵的进油口与油箱的出油口连接，第一液压泵的出油口通过伺服阀与液压缸进油口连接，液压缸的活塞带动调谐杆移动，液压缸的出油口通过伺服阀与油箱的进油口连接，油箱与所述冷却组件连接。本发明属于机械领域。
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